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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Beschreibung: Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07)
Kennung des Verfahrens: 59eb604d-362d-4955-b313-f15f8e18ea8e
Interne Kennung: PR865241-3220-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: München
Postleitzahl: 80339
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Cluster ALE/ICP/RIE + PECVD + ALD (HHI-07) - PR865241-3220-P
Beschreibung: 1 Stück. Das erforderliche Cluster-Tool sollte eine Ladeschleuse und einen Handler, drei separate Prozesskammern für ALE/ICP/RIE (Atomic Layer Etching/Inductively Coupled Plasma/Reactive Ion Etching), ALD (Atomic Layer Deposition) und ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) umfassen. Nach dem Ätzen der InP-, In(Al)GaAsP- und In(Al)GaAs-Schichten auf 3"- bis 6"-Wafern in der ALE/ICP/RIE-Kammer sollten diese unter Hochvakuum in eine der Beschichtungskammern gebracht werden. Die ALD-Kammer sollte die Beschichtung mit SiNx, SiO2, Al2O3 und TiO2 ermöglichen, während die ICP-PECVD-Kammer für SiNx und SiO2 geeignet sein sollte. Optionen: ALD-Kammer Gase Ozon (O3) wird über ein separates Generatorsystem zugeführt. ALD-Kammer Ellipsometer Ellipsometer zur in-situ Messung von ALD-Schichten. ALD-Kammer Pumpensystem Vakuum-Kältefalle als Pumpenschutz. ICP-PECVD-Kammer Endpunktdetektion zur Plasmareinigung Optisches Emissionsspektrometer (200 - 850 nm). ICP-PECVD-Kammer Substrathalter Quarz-Klemmring zum Festklemmen des 200-mm-Wafers/Trägers auf der Substratelektrode. ALE-Kammer Optische Emission Optisches Emissionsspektrometer (200 - 850 nm). ALE-Kammer Substratelektrode Die Elektrode muss auch für den Betrieb bei Temperaturen von bis zu -150°C geeignet sein. ALE-Kammer Laserinterferometer Ein Laserinterferometer/Reflektometer für die In-situ-Messung von Ätztiefen/-raten. ALE-Kammer Substrathalter Quarz-Klemmring zum Festklemmen des 200-mm-Wafers/Trägers auf der Substratelektrode.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 19/10/2026
Enddatum der Laufzeit: 23/10/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technik
Beschreibung: Technik
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Bedarf an zusätzlichen Bauleistungen oder Dienstleistungen durch den ursprünglichen Auftragnehmer
Sonstige Begründung: Siehe Begründung für die Wahl des Verfahrens.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 29/07/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE113869215
Postanschrift: Postfach 45 09
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 1743329313
Fax: +49 6122937178
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ef6f45d2-66c2-4905-ac34-1014dbc823ee - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 29/07/2025 13:47:45 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 498687-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 144/2025
Datum der Veröffentlichung: 30/07/2025