503557-2026 - Ergebnis
Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – FEOL ETCH CLUSTER
OJ S 138/2026 21/07/2026
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Imec EU Pilot line NV
E-Mail: tom.wauters@imec.be
Rechtsform des Erwerbers: Zentrale Regierungsbehörde
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: FEOL ETCH CLUSTER
Beschreibung: 300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Kennung des Verfahrens: efb8d926-3e2b-415a-99f8-7d4192e8f0a5
Interne Kennung: JPA2025ID17A
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242)
Land: Belgien
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: JPA2025ID17A - 1
Beschreibung: 300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Interne Kennung: 1
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242)
Land: Belgien
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium: 
Art: Qualität
Beschreibung: Zie opdrachtdocumenten
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Zie opdrachtdocumenten
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Rechtbank van eerste aanleg - arrondissement Leuven
Informationen über die Überprüfungsfristen: 15 dagen
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 0,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner: 
Offizielle Bezeichnung: Tokyo Electron Europe Limited
Angebot: 
Kennung des Angebots: Tokyo Electron Europe Limited-LOT-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 0,00 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag: 
Kennung des Auftrags: TELCON
Datum des Vertragsabschlusses: 16/07/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge: 
Art der eingegangenen Einreichungen: Teilnahmeanträge
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Bandbreite der Angebote: 
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 0,00 EUR
Wert des höchsten zulässigen Angebots: 0,00 EUR
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Imec EU Pilot line NV
Registrierungsnummer: 1004987603_21101
Postanschrift: Kapeldreef 75
Stadt: Heverlee
Postleitzahl: 3001
Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242)
Land: Belgien
E-Mail: tom.wauters@imec.be
Telefon: +32 16287789
Profil des Erwerbers: https://www.publicprocurement.be/bda?organisationIds=21101&includeOrganisationChildren=true
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: FOD Beleid en Ondersteuning
Registrierungsnummer: BE001
Postanschrift: Simon Bolivarlaan 30, bus 1
Stadt: Brussel
Postleitzahl: 1000
Land, Gliederung (NUTS): Arr. de Bruxelles-Capitale/Arr. Brussel-Hoofdstad (BE100)
Land: Belgien
E-Mail: revise@publicprocurement.be
Telefon: +32 2 740 80 00
Internetadresse: https://bosa.belgium.be
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Rechtbank van eerste aanleg - arrondissement Leuven
Registrierungsnummer: 0308375753
Stadt: Leuven
Postleitzahl: 3000
Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242)
Land: Belgien
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Tokyo Electron Europe Limited
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: GB 644 3924 29_92e32037-e8be-4f61-99ed-7737c0c42341
Postanschrift: Pioneer Building, Crawley Business Quarter, Fleming Way Crawley, West Sussex
Stadt: Crawley
Postleitzahl: RH10 9QL
Land: Vereinigtes Königreich
E-Mail: jonathan.irwin@europe.tel.com
Telefon: 07799887615
Rollen dieser Organisation: 
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 1243e294-e94e-4a77-bf3c-be99b749938d  -  01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 20/07/2026 00:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Bekanntmachung — eSender-Übermittlungsdatum: 20/07/2026 00:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Niederländisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 503557-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 138/2026
Datum der Veröffentlichung: 21/07/2026