512062-2022 - ErgebnisDeutschland-Duisburg: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
OJ S 181/2022 20/09/2022
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Universität Duisburg-Essen
Postanschrift: Forsthausweg 2, Gebäude LG
Ort: Duisburg
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 47057
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Sachgebiet Einkauf
E-Mail: einkauf@uni-due.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-due.de
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Elektronenstrahl-Lithografieanlage
Referenznummer der Bekanntmachung: 27-22 LR
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
38341100 Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 1 585 000,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung: Universität Duisburg-Essen Lotharstraße 55-65 47057 Duisburg In der Leistungsbeschreibungen finden Sie alle Angaben inkl. Bilder. Auf jeden Fall muss die Anlage über die Außentür Lieferanteneingang ins Gebäude eingebracht werden. Der in der Leistungsbeschreibung unter 6.1 beschriebene Weg ist für beide Varianten A und B zutreffend. Im Gebäude bestehen zwei verschiedene Wege A und B, die in der Leistungsbeschreibung unter 6.2 und 6.3 beschrieben sind.
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Bewertungskriterien aus der Leistungsbeschreibung / Gewichtung: 50
Preis - Gewichtung: 50
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 070-183577
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 4500035709
Bezeichnung des Auftrags:
27-22 LR: Elektronenstrahl-Lithografieanlage
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
07/06/2022
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: JEOL Germany GmbH
Postanschrift: Gute Änger 30
Ort: Freising
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 85356
Land: Deutschland
E-Mail: sales@jeol.de
Internet-Adresse: http://jeol.de
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 2 200 000,00 EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1 585 000,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MDF4F
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Ort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland
E-Mail: VKRhld-K@bezreg-koeln.nrw.de
Telefon: +49 221-1473045
Fax: +49 221-1472889
Internet-Adresse: http://www.brd.nrw.de
VI.4.3.
Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1 genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach
Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
15/09/2022