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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P
Beschreibung: In-Line AFM (IZM-15.1)
Kennung des Verfahrens: 53a331d6-f194-4060-a61b-18c4834a1ebe
Interne Kennung: PR990603-2590-P
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38126000 Oberflächen-Messgeräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 13355
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P
Beschreibung: Mit dem Fortschritt des 2,5D/3D-Packagings und insbesondere mit der heterogenen Integration verschiedener Materialien gibt es mehrere W2W- oder D2W-Bonding-Technologien, nämlich Direkt-, Fusions- oder Hybrid-Bonding, bei denen verschiedene Materialien wie Si, SiO, SiN, Polymer und Metall miteinander verbunden werden können, wobei die Oberflächenrauheit vor dem Bonding-Prozess von wesentlicher Bedeutung ist. Darüber hinaus erfordert die CMP von polymerbasierten RDLs mit hoher Fräsdichte eine CMP mit anschließender Inline-Überwachung. Daher wird die Inline-Rasterkraftmikroskopie als Messinstrument für die Oberflächencharakterisierung eingesetzt. In solchen Fällen muss nicht nur die Oberflächenrauheit gemessen werden, sondern auch das Dishing oder kleine Vorsprünge in einigen Bereichen müssen ebenfalls gemessen werden. Das Gerät sollte in der Lage sein, Dies auf Wafern oder Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm zu handhaben, mit automatischer Ausrichtung und Inspektion bestimmter Waferbereiche, die auf einer Waferkarte ausgewählt wurden. Es sollte sowohl eine automatische Beladung des Trägers als auch eine manuelle Probenplatzierung möglich sein. Darüber hinaus wäre die Integration in ein bestehendes MES und die Anbindung an eine Datenbank von Vorteil für die Automatisierung der Datenerfassung und -auswertung. Für die Messung der Oberflächenrauhigkeit sollten verschiedene Scan-Modi (z. B. Kontakt- oder Tapping-Modus) zur Verfügung stehen, da für ein korrektes Hybrid-Bonding eine geeignete Auflösung der Oberflächenrauhigkeit erforderlich ist. Das Tool würde zur Prüfung der Oberflächenqualität vor verschiedenen Bondtechniken, zur Planarisierung von RDL-Schichten oder zum 3D-Scan der Seitenwandrauhigkeit, z. B. für TSV-Hohlräume oder Resist-Seitenwände, in der Pilotlinie für die heterogene Integration eingesetzt werden.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38126000 Oberflächen-Messgeräte
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 7 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Bruker France S.A.S.
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 06/08/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Bruker France S.A.S.
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: ID VAR FR 54 311 020 911
Postanschrift: 34 rue de lindustrie - BP 10002
Stadt: WISSEMBOURG CEDEX
Postleitzahl: 67166
Land, Gliederung (NUTS): Bas-Rhin (FRF11)
Land: Frankreich
Telefon: +972 52-3255658
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 6f91c8ff-3044-459e-bbf8-b360d16d2c57 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 06/08/2025 14:36:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 518266-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 150/2025
Datum der Veröffentlichung: 07/08/2025