Beschreibung der Beschaffung
Das Gesamtsystem soll aus den folgenden Modulen bestehen:
- Vakuum-Prozesskammer mit zugehöroger Pumpentechnik undReinraumseitiger Schleusenkammer
- Plasmaquelle
- Gassystem und Abgasreinigung
- Kühlkreisläufe
- Anlagensteuerung
- Dokumenttion, Installation und Schulung
Die funktionalen Anforderungen sind der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen) zu entnehmen.