1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Wirtschaftliche Angelegenheiten
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Beschreibung: Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Kennung des Verfahrens: 0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2
Interne Kennung: NLB2025_05
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Reinraum, 1. Stock im Gebäude
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: NLB2025_05
Beschreibung: Die beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen, dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B. Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss. Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01887
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Kosten
Bezeichnung: Es waren neben dem Preis weitere 7 technische Kriterien genannt.
Beschreibung: Neben dem Preis waren technische Kriterien in den Unterlagen als Zuschlagskriterien genannt.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 8
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gemäß der Richtlinie 2014/24/EU sind die Fristen für das Nachprüfungsverfahren bei der 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion zu erfahren.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: NaMLab gGmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: NaMLab gGmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: NaMLab gGmbH
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 096 244,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: scia Systems GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: AN2500650-1
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 1 096 244,00 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: NLB2025_05
Datum der Auswahl des Gewinners: 30/06/2025
Datum des Vertragsabschlusses: 01/07/2025
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union:
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) (2021/2027)
Kennung der EU-Mittel: EFRE InfraProNet 2021-2027, Antragsnummer 100704979
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: NaMLab gGmbH
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: NaMLab gGmbH
Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf
Telefon: +49 21249900
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig (DED52)
Land: Deutschland
Telefon: +49 3419771040
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0101
Offizielle Bezeichnung: scia Systems GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE288142776
Postanschrift: Clemens-Winkler-Str. 6c
Stadt: Chemnitz
Postleitzahl: 09116
Land, Gliederung (NUTS): Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0102
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 019883d2-19df-4cfc-8e88-9207d131661b - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 07/08/2025 18:09:10 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 523054-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 152/2025
Datum der Veröffentlichung: 11/08/2025