See the notice on TED website
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: high-performance TOF-SIMS with SPM (IMWS-13.1) - PR876572-2690-P
Beschreibung: high-performance TOF-SIMS with SPM (IMWS-13.1)
Kennung des Verfahrens: d2eb16e5-b5a7-4174-ab6d-e8f003e63e81
Interne Kennung: PR876572-2690-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38433100 Massenspektrometer
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: high-performance TOF-SIMS with SPM (IMWS-13.1) - PR876572-2690-P
Beschreibung: 1 Stück high-performance TOF-SIMS with SPM (IMWS-13.1) Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS ist ein methodisch ausgerichtetes Fraunhofer-Institut in den Fachdisziplinen Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. Das Fraunhofer IMWS ist Ansprechpartner für die Industrie und öffentliche Auftraggeber für alle Fragestellungen, die die Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen betreffen - mit dem Ziel, Materialeffizienz und Wirtschaftlichkeit zu steigern und Ressourcen zu schonen. Im Rahmen des EU Chips Acts plant das Fraunhofer IMWS die Anschaffung eines Kombinationsgerätes, welches die Möglichkeit der gekoppelten Probenanalyse durch Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) sowie Rastersondenmikroskopie (scanning probe microscopy, SPM) der gleichen Probenstelle in situ bietet. Gefragt ist ein Gerät zur Spurenanalyse an µm-skaligen Kontaktschnittstellen von hochintegrierten 2,5/3D- und QMI-Bauelementen, zum Nachweis der elementaren Zusammensetzung bzw. der lateralen und räumlichen Verteilung von Elementen und chemischen Verbindungen auf Probenoberflächen und Probengefügen, mit dem primären Ziel des Nachweises von (Spuren-)Verunreinigungen auf Proben und in Probenvolumina sowie dem Nachweis möglicher Interdiffusionsprozesse. Aufgrund ihrer inhärent hohen Nachweisempfindlichkeit für fast alle Elemente und chemischen Verbindungen wurde die ToF-SIMS-Technik als geeignetes Verfahren identifiziert, um Spurenelemente und (auch organische) Verunreinigungen auf funktionalen Strukturen quasi zerstörungsfrei nachzuweisen, da mit TOF-SIMS der Nachweis von Spurenelementen im ppm-ppb-Bereich möglich ist. Für die Oberflächenanalyse ist eine laterale Auflösung < 100 nm erforderlich. Die Möglichkeit zur Darstellung der flächigen Verteilung der durch die Analyse aufgespürten Elemente und Verbindungen muss gegeben sein. Es muss außerdem die Möglichkeit bestehen, durch sukzessiven Probenabtrag während der Akquise tiefenprofilometrisch auch die Verteilung der chemischen Elemente und Verbindungen im Probenvolumen zu registrieren und dreidimensional darzustellen. Proben mit einer heterogenen 3D-Struktur stellen eine große Herausforderung für die Analyse dar, weil die Abtragsrate materialabhängig ist und zusätzliche Herausforderungen wie Abschattungs- und Aufraueffekte die Interpretation von 3D-Datensätzen solch anspruchsvoller Proben einschränken. Deshalb wird ein Gerät benötigt, das eine Kombination von ToF-SIMS mit SPM innerhalb derselben Plattform in situ bietet. Zur Analyse der realen Probentopographie ist eine hohe Vorschubgenauigkeit < 1 µm zwischen der SPM- und der ToF-SIMS-Tiefenprofilierungsposition erforderlich. Ziel ist es, die 3D ToF-SIMS-Datensätze mit den SPM-Topographieinformationen zu kombinieren, um topographiekorrigierte 3D-Datensätze für Heterostrukturen oder -Bauteile zu erzeugen. Für die Analyse organischer Probensysteme oder komplexer, integrierter heterogener anorganisch-organischer Probensysteme wird zusätzlich die Möglichkeit zur schonenden Tiefenprofilierung gewünscht - in dem Sinn, dass eine durch den Energieeintrag der zerstäubenden Ionenspeziies induzierte Durchmischung oder Auflösung (organischer) Probenbestandteile auf ein Minimum reduziert wird. Zudem soll die Möglichkeit bestehen, Proben mit 10 Zoll Durchmesser ohne vorherige Verkleinerung in das Gerät überführen zu können. Optionen: siehe Leistungsverzeichnis
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38433100 Massenspektrometer
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 27/12/2027
Enddatum der Laufzeit: 31/12/2027
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, weil er die Erschaffung oder den Erwerb eines einzigartigen Kunstwerks oder einer einzigartigen künstlerischen Leistung zum Ziel hat
Sonstige Begründung: siehe Vergabebegründung
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: IONTOF GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 29/07/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: IONTOF GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: 336/5805/0863
Postanschrift: heisenbergstrasse 15
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48149
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 2511622200
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9369af3b-2798-41d1-87bb-dcd2332fea2c - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 29/07/2026 12:22:18 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 526815-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 145/2026
Datum der Veröffentlichung: 30/07/2026