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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Tampere University Foundation sr
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Magnetron sputter (MST) system
Beschreibung: Tampere University Foundation sr is inviting tenders for 'Magnetron sputter (MST) system', hereinafter 'MST' or 'System'.
Kennung des Verfahrens: 6f912bcd-0551-43b7-9bce-2156efeaa315
Vorherige Bekanntmachung: 25da1eb9-76eb-4690-8ba2-37759fabf52c-01
Interne Kennung: TAU/7560/2025
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Pirkanmaa (FI19B)
Land: Finnland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Tampere University ('TAU') is procuring a system that enables to: i) Metallization of semiconductor wafers and other substrates with high purity metals and pre-cleaning of substrate insitu in high vacuum towards optimal adhesion and low resistivity ohmic contacts, ii) Deposition of ITO (Indium Tin Oxide) on various sample types such as glass and silicon. * * * Optoelectronics: The system will be employed in the research of high-performance semiconductor devices to create high quality metal contacts to semiconductors and to provide i.e. solder layers that are used to interface devices to different type of chip carriers The device wafers are typically wafers from 2” to 4” or fragments of these wafers with thickness variation from 100 µm to 650 µm. R&D of such devices requires system with fast cycle times, reproducibility and high-quality coatings. Removal of native oxide is important property. Critical characteristics are also a user-friendly and intuitive user interface, enabling simple use of the system and effective process development. * * * Biomedical technology: The system will be used for thin film coatings for various biomedical applications, especially microelectrode arrays and other sensors. 49 mm x 49 mm glass substrates are the current specialty, but also any other size and shape of glass, semiconductor and polymer substrates are possible up to 6-8” in diameter and few mm in thickness. * * * Overall: The system under procurement should have an open platform in hardware and software level to enable TAU to further develop new processes. Moreover, the system should enable us to use it in a manual operation mode as well as automating a part or the complete process flow. Maximum of three (3) most promising tenderers are selected to provide demonstration. E.g. Step coverage will be tested: - Ultimately critical: Compatibility with lift-off resist processing. - Step coverage to manage 2 µm steps (with vertical sidewalls) with conformal enough coatings to allow min 20 % of film thickness on sidewalls - If system has capability for operator to adjust target-substrate distance these can be evaluated in extremes producing best results. The system delivery process includes a design review step, in which TAU and the tenderer awarded with the contract, review the final system configuration. - - - - PRICING GUIDANCE: Fixed budget of max 410 000 € (excl. VAT) to be utilized. Tenderers are expected to maximize the offering within the budget.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Magnetron sputter (MST) system
Beschreibung: Tampere University Foundation sr is inviting tenders for 'Magnetron sputter (MST) system', hereinafter 'MST' or 'System'.
Interne Kennung: TAU/7560/2025
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Pirkanmaa (FI19B)
Land: Finnland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Tampere University ('TAU') is procuring a system that enables to: i) Metallization of semiconductor wafers and other substrates with high purity metals and pre-cleaning of substrate insitu in high vacuum towards optimal adhesion and low resistivity ohmic contacts, ii) Deposition of ITO (Indium Tin Oxide) on various sample types such as glass and silicon. * * * Optoelectronics: The system will be employed in the research of high-performance semiconductor devices to create high quality metal contacts to semiconductors and to provide i.e. solder layers that are used to interface devices to different type of chip carriers The device wafers are typically wafers from 2” to 4” or fragments of these wafers with thickness variation from 100 µm to 650 µm. R&D of such devices requires system with fast cycle times, reproducibility and high-quality coatings. Removal of native oxide is important property. Critical characteristics are also a user-friendly and intuitive user interface, enabling simple use of the system and effective process development. * * * Biomedical technology: The system will be used for thin film coatings for various biomedical applications, especially microelectrode arrays and other sensors. 49 mm x 49 mm glass substrates are the current specialty, but also any other size and shape of glass, semiconductor and polymer substrates are possible up to 6-8” in diameter and few mm in thickness. * * * Overall: The system under procurement should have an open platform in hardware and software level to enable TAU to further develop new processes. Moreover, the system should enable us to use it in a manual operation mode as well as automating a part or the complete process flow. Maximum of three (3) most promising tenderers are selected to provide demonstration. E.g. Step coverage will be tested: - Ultimately critical: Compatibility with lift-off resist processing. - Step coverage to manage 2 µm steps (with vertical sidewalls) with conformal enough coatings to allow min 20 % of film thickness on sidewalls - If system has capability for operator to adjust target-substrate distance these can be evaluated in extremes producing best results. The system delivery process includes a design review step, in which TAU and the tenderer awarded with the contract, review the final system configuration. - - - - PRICING GUIDANCE: Fixed budget of max 410 000 € (excl. VAT) to be utilized. Tenderers are expected to maximize the offering within the budget.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technical quality
Beschreibung: Technical quality
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Service and support
Beschreibung: Service and support
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 15
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Evaluation of demo
Beschreibung: Evaluation of demo
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 25
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Markkinaoikeus
Informationen über die Überprüfungsfristen: .
Organisation, aus deren Mitteln der Auftrag bezahlt wird: Tampere University Foundation sr
Organisation, die die Zahlung ausführt: Tampere University Foundation sr
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Tampere University Foundation sr
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 409 600,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Kurt J. Lesker Company GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: Lesker Company/ TAU/7560/2025
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: 409 600,00 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: TAU/7560/2025
Titel: Magnetron sputter (MST) system
Datum der Auswahl des Gewinners: 23/06/2026
Datum des Vertragsabschlusses: 03/08/2026
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Tampere University Foundation sr
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 5
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Markkinaoikeus
Registrierungsnummer: 3006157-6
Postanschrift: Radanrakentajantie 5
Stadt: Helsinki
Postleitzahl: 00520
Land, Gliederung (NUTS): Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
Land: Finnland
Telefon: +358 295643300
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Tampere University Foundation sr
Registrierungsnummer: 2844561-8
Stadt: Tampere
Postleitzahl: 33100
Land, Gliederung (NUTS): Pirkanmaa (FI19B)
Land: Finnland
Kontaktperson: Arto Heikkilä
Telefon: +358 503015565
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
Organisation, aus deren Mitteln der Auftrag bezahlt wird
Organisation, die die Zahlung ausführt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Kurt J. Lesker Company GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleinst-, kleines oder mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE250452616
Postanschrift: Fritz-Schreiter-Str. 18
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01259
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Hansel Oy (Hilma)
Registrierungsnummer: FI09880841
Postanschrift: Mannerheiminaukio 1a
Stadt: Helsinki
Postleitzahl: 00100
Land, Gliederung (NUTS): Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
Land: Finnland
Kontaktperson: eSender
Telefon: 029 55 636 30
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f478850f-ea01-4e13-bf97-46e631335b57 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 04/08/2026 06:35:39 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Bekanntmachung — eSender-Übermittlungsdatum: 04/08/2026 06:35:40 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 542073-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 149/2026
Datum der Veröffentlichung: 05/08/2026