- Nur K.J. Lesker bietet ein Sputtersystem mit 2" Sputter Targets und einer modularen Edelstahlvakuumkammer an, bei der die Seitenwände abgenommen werden können. Größere Sputtersystem mit 3" oder noch größeren Sputtertargets sind für unseren Reinraum ungeeignet aufgrund der hohen Kosten von Edelmetalltargets dieser Größe
- Das System verwendet standardmäßig eine automatische Load-lock, was essenziell für die regelmäßige Nutzung der Anlage durch unerfahrenes Personal ist. Selbst bei erfahrenem Personal, kommt es beim manuellen Transfer oft zu Beschädigungen der Anlage. Eine Motorisierung einer manuellen Load-lock erreicht dabei nicht die gleiche Verlässlichkeit, wie ein standardmäßig automatisches System
- Die Verwendung einer Edelstahlkammer, erlaubt es uns weitere Komponenten in das System, mit Unterstützung der hauseigenen Werkstatt, hinzuzufügen. Aluminiumbasierte Vakuumtechnologie, würde dies deutlich erschweren
- Das K.J. Lesker System hat einen Grundriss von weniger als 1.9 m x 0.9 m was aufgrund der begrenzten Flächen im Reinraum von großer Bedeutung ist
- Die K.J. Lesker Mag Keeper Sputter Quellen sind einzigartige und erlauben ein äußerst einfaches und verlässliches Tauschen der Sputtertargets. Die Sputtertargets werden hierbei einfach magnetisch gehalten und können sehr leicht abgenommen werden. Der neuartige Shutter reduziert die Anfälligkeit des Systems und vereinfacht auch zusätzlich das Tauschen des Targets. Auch erlauben die Mag Keeper Sputter Quellen höher Sputterleistungen, aufgrund verbesserter Kühlung, für ein größeres Prozessfenster
- Die K.J. Lesker Anlage wird mit einem Hochleistungs DC pulsed Power Supply und einem RF Power Supply angeboten, welches das Substrate und auch Sputtertargets mit RF Leistung versorgen kann
Nur K.J. Lesker bietet eine Anlage welche die gewünschte Modularität und Flexibilität mit der nötigen verlässlichen, einfachen Bedienbarkeit kombiniert, was auch die verlässliche Bedienung durch weniger erfahrenes Personal ermöglicht.