1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Silicon Austria Labs GmbH
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Silicon Austria Labs – Chips JU: In-line metrology tool for thin-film measurements
Beschreibung: The aim of this procurement procedure was to award the contract to the best bidder identified during the procurement procedure for the supply, installation and commissioning of an in-line metrology tool for thin-film measurements for Silicon Austria Labs GmbH.
Kennung des Verfahrens: d80cdf34-02e3-4034-8e2c-d44a88305b54
Interne Kennung: 1
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 031 193,61 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: It should be noted that the stated “value excluding VAT” here and below is based on the price of the In-line metrology tool for thin-film measurements including delivery, installation, commissioning, training. This total value is therefore composed of the total price of the tool in the amount of EUR 1,031,193.61 (USD 1,200,000.00) presently retrieved. Moreover, due to technical reasons the bidder’s country of establishment cannot be selected in Section IV, as the system requires a European NUTS-Code to be entered. The bidder “Onto Innovation” is in fact established in the United States. The indication of an austrian NUTS-Code in Section IV is therefore solely attributable to the technical limitations of the procurement platform and does not reflect the bidder’s actual place of establishment. This project is an initiative within the WBG Pilot Line, which is a collaborative under the European Chips Act, that is co-funded by the EU and its Member States. Therefore, the project is also funded by the FFG (www.ffg.at). Links to the project: https://www.wbg-pilot-line.eu/; and https://projekte.ffg.at/projekt/5131353
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-4801
Titel: Silicon Austria Labs – Chips JU: In-line metrology tool for thin-film measurements
Beschreibung: The aim of this procurement procedure was to award the contract to the best bidder identified during the procurement procedure for the supply, installation and commissioning of an in-line metrology tool for thin-film measurements for Silicon Austria Labs GmbH.
Interne Kennung: 1
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Europastraße 12
Stadt: Villach
Postleitzahl: 9524
Land, Gliederung (NUTS): Klagenfurt-Villach (AT211)
Land: Österreich
Zusätzliche Informationen: Cleanroom
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 16/07/2026
Laufzeit: 8 Monate
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 031 193,61 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: The information under point “Duration of the contract, framework agreement or dynamic procurement system” was only provided because it is a mandatory field. In fact, a supply contract is concluded, which generally ends with the delivery, installation, commissioning, training and acceptance. The actual term will therefore only be determined after installation, commissioning and acceptance.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Commitment to target requirements
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Delivery and installation time
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 5
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Warranty of functionality period
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 5
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Price of the device incl. delivery, installation, commissioning, training
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundesverwaltungsgericht
Informationen über die Überprüfungsfristen: See § 343 BVergG 2018.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 031 193,61 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-4801
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Onto Innovation
Angebot:
Kennung des Angebots: Onto Innovation
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-4801
Wert des Angebots: 1 031 193,61 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Silicon Austria Labs – Chips JU: In-line metrology tool for thin-film measurements
Titel: Supply Contract
Datum des Vertragsabschlusses: 16/07/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-6231
Offizielle Bezeichnung: Silicon Austria Labs GmbH
Registrierungsnummer: 9110023950495
Postanschrift: Sandgasse 34
Stadt: Graz
Postleitzahl: 8010
Land, Gliederung (NUTS): Graz (AT221)
Land: Österreich
Kontaktperson: Schramm Öhler Rechtsanwälte GmbH, zH RA Mag. David Melingo und RA Mag. Christian Gruber, Bartensteingasse 2, 1010 Wien
Telefon: +43 1 409 76 090
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-4472
Offizielle Bezeichnung: Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer: 9110008059823
Postanschrift: Erdbergstraße 192-196
Stadt: Wien
Postleitzahl: 1030
Land, Gliederung (NUTS): Wien (AT130)
Land: Österreich
Telefon: +43 160149
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0354
Offizielle Bezeichnung: Onto Innovation
Registrierungsnummer: 1
Postanschrift: Jonspin Road 16
Stadt: Wilmington
Postleitzahl: 01887
Land, Gliederung (NUTS): Klagenfurt-Villach (AT211)
Land: Österreich
Telefon: +1 9782536200
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-4801
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 563fc25e-e051-4bdf-a219-160044c7e2e1 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 11/08/2026 14:57:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 558628-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 154/2026
Datum der Veröffentlichung: 12/08/2026