Upgrade und Detektorerweiterung - PR264160-2270-W

Upgrade und Detektorerweiterung

Hauptort der Ausführung: Fraunhofer EMFT Hansastraße 27d 80686 München Deutschland

Zur Analyse von Mikro- und Nanostrukturen steht dem Fraunhofer ein SEM-FIB-System des Typs Helios NanoLab650 vom Hersteller FEI Thermo Fisher zur Verfügung. Damit können über Materialkontrast und Topographiekontrast die Oberflächen und Querschnitte der Proben analysiert werden. Auch Elementanalysen in einem Anregungsvolumen von einigen µm können mit einer Genauigkeit von wenigen % erfolgen. In aktuellen und zukünftigen Projekten des Fraunhofer EMFT (z.B. Quanten-Computing) sind zunehmend dünnere und schmalere Schichten zu realisieren die zudem eine hohe Qualität aufweisen sollen. Mit dem bestehenden System sind diese kleinen Strukturen und deren kritischen Qualitätsmerkmale nicht mehr zu analysieren. Hierfür ist die Anschaffung eines Time-of-Flight Sekundär-Ionen-Massen-Spektrometers (ToF-SIMS) geplant, welches in das bestehende Dual-Beam Gerät integriert werden soll. Damit können Elementzusammensetzungen mit deutlich besserer Konzentrations- und Tiefenauflösung bestimmt werden. Für zielgenauere Präparationen und Querschnittsanalysen sollen zudem noch ein ICE-Detektor und ein automatisierter Nano-Manipulator integriert werden. Für die Analyse von kristallinen Strukturen ist außerdem die Einbindung der SACP-Methode gewünscht. Um das Helios NanoLab650 auch weiterhin zuverlässig betreiben zu können, ist zusätzlich noch ein Systemupgrade notwendig, da einige der bisher verbauten Komponenten (Mikroskop- und Supportrechner, Elektronikteile wie Steuerkarten) und entsprechende Ersatzteile in Zukunft nicht mehr lieferbar sind (End-of-Life). Die Systemsoftware muss in diesem Zuge ebenfalls aktualisiert werden, um die neuen Systemkomponenten ansteuern zu können. Auch das bestehende EDX ist im Rahmen des Upgrades aus Kompatibilitätsgründen zu erneuern, um weiterhin mit dieser Methode zerstörungsfreie Elementanalysen durchführen zu können. Optionen: 2.3.Eine zusätzliche Standalone-Anwendung zur Ermöglichung von Rocking Beam / SACP-Messungen (Selected Area Channeling Patterns) ist gewünscht. (O) 5.2.Eine neue Verbindungs- bzw. Installationsbox, um das aufgerüstete Gerät mit der im Haus verfügbaren Medienversorgung anzubinden ist anzugeben, falls eine neue notwendig ist. (O)

Preis - Gewichtung: 35,00

Beschreibung der Optionen:

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1