1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ruhr-Universität Bochum
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Beschreibung: Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Kennung des Verfahrens: c859db0a-fabf-43ac-b7eb-a242bcd86fbf
Interne Kennung: WD/2026/BVG00084528
Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Universitätsstraße 150
Stadt: Bochum
Postleitzahl: 44801
Land, Gliederung (NUTS): Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 024 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXPNYH7D2XQ#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Beschreibung: Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Interne Kennung: WD/2026/BVG00084528
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Universitätsstraße 150
Stadt: Bochum
Postleitzahl: 44801
Land, Gliederung (NUTS): Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Eintragung in ein relevantes Berufsregister
Beschreibung des Eignungskriteriums: Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft ein. * Eine Haftpflichtversicherung besteht bei folgendem Versicherungsunternehmen: Versicherer: Deckungssummen in EUR Sachschäden Vermögensschäden Personenschäden Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Versicherungsbescheinigung ein. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.
Kriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Beschreibung des Eignungskriteriums: Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen. Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage - Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.
Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-,Vermögens- und Personenschäden, b) Angaben Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz Hinweis: Die Angaben zu den vorstehenden Buchstaben a) bis b) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 -Angebotsvordruck zu verwenden. Möglicherweise geforderte Mindeststandards
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3
Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 14/09/2026 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Eine Nachforderung erfolgt im Rahmen einer Ermessensentscheidung des Auftraggebers.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Überprüfungsstelle: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ruhr-Universität Bochum
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Ruhr-Universität Bochum
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ruhr-Universität Bochum
Registrierungsnummer: 05911-06001-11
Postanschrift: Universitätsstraße 150
Stadt: Bochum
Postleitzahl: 44801
Land, Gliederung (NUTS): Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)
Land: Deutschland
Telefon: +49 23432-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48147
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 251-4111691
Fax: +49 251-4112165
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 12/08/2026 09:47:08 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 562332-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 155/2026
Datum der Veröffentlichung: 13/08/2026