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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Laserlithographiesystem
Beschreibung: Beschaffung eines modularen maskenlosen Laserlithographiesystems inkl. Zubehör zur Verbesserung spezifischer Graustufenbelichtungen.
Kennung des Verfahrens: 27dd3560-0e45-409a-8eff-d87d08237718
Interne Kennung: 05-24E1VV-EP Los 1
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DGMP 010d1341-8f16-4c15-a690-5d6192e45968
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Laserlithographiesystem
Beschreibung: Beschaffung eines modularen maskenlosen Laserlithographiesystems inkl. Zubehör zur Verbesserung spezifischer Graustufenbelichtungen.
Interne Kennung: 05-24E1VV-EP Los 1
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität
Beschreibung: Qualität
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Siegen
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen Leistungen ist. Beabsichtigt ist die Beschaffung eines Laserlithographiesystems inkl. BEAMER Softwarepaket, das zentral an der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen zum Einsatz kommen wird. Die diesbezüglichen hochspeziellen Anforderungen leiten sich aus dem bewilligten Großgeräteantrag der Universität Siegen ab, der von der Deutschen Forschungsgemeinschaft bewilligt worden ist. Aus diesem Forschungsanspruch heraus und aufgrund der zentralen Bedeutung des Zentrums für die Material- und Sensorforschung an der Universität Siegen muss das Laserlithographiesystem folgende Anforderungen zwingend kumulativ erfüllen. In Abgrenzung zu anderen Spartenmarktteilnehmern hat der Auftragnehmer mit Blick auf das kumulative Vorliegen der unabdingbar erforderlichen wissenschaftlich-technischen Spezifika eine hinreichende Alleinstellung inne. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die im Rahmen der DFG-Großgeräte- Förderung bewilligten speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen - mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV). Aus den zuvor genannten globalen Anforderungen an das Beschichtungszentrum und den Anlagenhersteller ergeben sich folgende konkrete Anforderungen, die die Direktvergabe begründen: Der maskenlose Laserlithographiesystem erfüllt folgende Spezifikationen: - Manuelles, halb-automatisches und vollautomatisches Alignment - Es stehen zwei unabhängige Autofokussysteme zur Verfügung. Ein System verwendet ein optisches Prinzip und das zweite ein nicht optisches System (pneumatisch). Dies gewährleistet eine zuverlässige und reproduzierbare Fokussierung auf Substraten mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften. Beide Systeme messen und korrigieren die Fokusposition in Echtzeit während einer laufenden Belichtung. Substratgröße & Schreibfläche: - Probenaufnahme: Kleinstproben (5x5mm2) und Substrate bis zu einer Größe von 220 x 220 mm² und einer maximalen Höhe von 12 mm - Multi-Vakuumzonen-Chuck - Tischsystem: Linearmotoren für x,y-Bewegung und 10 nm Positionierungauflösung mit einem Interferometersystem - Gesamtbelichtungsfläche: 200 x200 mm² Prozessumgebung: -abgeschlossenes System mit ISO-4 Flowmodul für eine Temperaturstabilisierung +/- 0,1°C (sofern Gerät in ISO-5 Reinraumumgebung oder besser aufgestellt wird) - SLMSchwingungsisolation für maximale Reproduzierbarkeit und Ausbeute - Lichtquelle: Laserdiode Wellenlänge 375 nm, 70 mW Ausgangsleistung und 20.000 Std. typ. Lebensdauer - Integriertes Kamerasystem zur Ausrichtung und Messung sowie eine zusätzliche Kamera mit einem Sichtfeld von 8 mm x 10 mm zur einfachen Orientierung auf dem Substrat. - Kamera mit Real-time Autofokus: 80 ?m Dynamic Range - Zwei Schreibmodi: i.) 0,3 ?m (High-Resolution) mit 5 nm Adress-Grid und 2mm²/min Schreibgeschwindigkeit unabhängig von der Struktur und zu beschreibender Fläche bei 375 nm Wellenlänge. Min. half-pitch: 500 nm ii.) 1 ?m (High- Speed) Auflösung und 50 nm Adress-Grid und 110 mm²/min Schreibgeschwindigkeit unabhängig von der Struktur und zu beschreibender Fläche bei 375 nm Wellenlänge. Min. halfpitch: 1500 nm - Back-Side Alignment (Kamera unterhalb des Vakuum-Chucks) zur doppelseitigen Probenbelichtung Genauigkeit 1 ?m - Hochpräzises 2-Layer Alignment: i.) über 5 mm x 5 mm mit Justiergenauigkeit 250 nm ii.) über 100 mm x 100 mm mit Justiergenauigkeit 350 nm iii.) 9" Quarzmaske als Kalibrierstandard für das hochpräzise 2-Layer Alignment - Graustufen Lithographiemodus: 256 Graustufen, Intensitätsauflösung 65.000 je Stufe - Für die Definition von Graustufen-Layouts können die Dateiformate DXF, BMP, STL und X,Y,Z-ASCII verwendet werden. - ein Tag Graustufenlithographie-Schulung - Softwarepaket zur Verbesserung spezifischer Graustufen Designbelichtungen: BEAMER - Standard Laser Package (B006)" von GenIsys - 2 PCs für Systemsteuerung und Datenumwandlung
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Leiter der anbietenden Partei: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 24-22-00873-6
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 4500004495
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Bandbreite der Angebote:
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 1,00 EUR
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Registrierungsnummer: DE 154854171
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
Telefon: +49 271740-4867
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48128
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 251411-1691
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE 143445073
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69123
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
Telefon: +496221 728899 0
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Leiter der anbietenden Partei
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 2b86acd3-6bdb-4650-90df-db1bae3b91f5 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 18/09/2024 14:01:18 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 563068-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 183/2024
Datum der Veröffentlichung: 19/09/2024