563507-2025 - Wettbewerb
Deutschland – Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion – Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
OJ S 165/2025 29/08/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ludwig-Maximilians-Universität München
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Beschreibung: Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung
Kennung des Verfahrens: bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4
Interne Kennung: MQV-Plasma
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 700 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Korruption: 
Betrug: 
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: 
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: 
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: 
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: 
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: 
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: 
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: 
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: 
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: 
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: 
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: 
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: 
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: 
Zahlungsunfähigkeit: 
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: 
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: 
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Beschreibung: Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein.
Interne Kennung: 0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 700 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).

Kriterium: Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards
Beschreibung des Eignungskriteriums: Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde: Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung: 
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 29/09/2025 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 39 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: 
Fehlende Bieterunterlagen können nicht nach Fristablauf nachgereicht werden.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: 
Eröffnungstermin: 29/09/2025 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen: 
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Informationen über die Überprüfungsfristen: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ludwig-Maximilians-Universität München
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Ludwig-Maximilians-Universität München
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ludwig-Maximilians-Universität München
Registrierungsnummer: 13316
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Stadt: München
Postleitzahl: 80539
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de
Telefon: +49 8921803733
Internetadresse: https://www.deutsche-evergabe.de
Profil des Erwerbers: https://www.deutsche-evergabe.de
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80539
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de
Telefon: +49 8921762411
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4  -  01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 27/08/2025 11:10:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 563507-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 165/2025
Datum der Veröffentlichung: 29/08/2025