1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Deposition Tool 8 Inch
Beschreibung: The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Kennung des Verfahrens: e06c816c-ffcf-4865-9128-954fd6ae4046
Interne Kennung: TUM-E23-2026-01
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ8M7XK#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Deposition Tool 8 Inch
Beschreibung: siehe Leistungsbeschreibung.
Interne Kennung: TUM-E23-2026-01
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Auftragsunterlagen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Siehe Vergabeunterlagen
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Siehe Vergabeunterlagen
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 28/09/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Erforderlich
Varianten: Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 05/10/2026 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 4 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: -
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 05/10/2026 12:01:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: siehe Vergabeunterlagen.
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
Registrierungsnummer: DE811193231
Postanschrift: Walther-Meißner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85478
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Kontaktperson: LS für Technische Physik, Walther-Meißner-Institut
Telefon: +49 8928914442
Fax: +49 8928914206
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Registrierungsnummer: DE811335517
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Zentrale Vergabestelle, IuK
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: b635f593-1b0a-4845-8a3f-6e8ade80f88d - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 20/08/2026 11:51:11 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 579224-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 161/2026
Datum der Veröffentlichung: 21/08/2026