2022-OJS204-579604-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Universität der Bundeswehr München

Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39

Ort: Neubiberg

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Postleitzahl: 85579

Land: Deutschland

Kontaktstelle(n): ZV I.3

E-Mail: unibwmuenchenzvi.3@bundeswehr.org

Telefon: +49 8960043243

Fax: +49 8960044013

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner

Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT420_Vital_Sense_9912_EIT2.1_HW

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42000000 Industrielle Maschinen

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitä-ten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet.

Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierung- und Techno-logieforschung der Bundeswehr" (kurz DTEC.Bw) gegründet. DTEC.Bw ist Bestand-teil des Konjunkturprogramms der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet.

Die Universität der Bundeswehr in München plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines Mask Aligners zur Belichtung von Siliziumwafern. Die Flexibilität des Gerätes und die erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.

Für das Projekt beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens ei-nen Mask Aligner zu beschaffen.

Für das Projekt VITAL-SENSE benötigt die UniBw M einen Mask Aligner um Siliziumwafer zu belichten. Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Um fertige Bauelemente herzustellen werden hohe Ansprüche in Sachen Reproduzierbarkeit und Qualität der Ergebnisse gestellt.

Der Mask Aligner muss die hohen Reinheitsanforderungen, die Genauigkeit der Justage, Auflösung und Homogenität der Halbleitertechnologie erfüllen.

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme

von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner. Im Rahmen der Inbetrieb-nahme muss der Auftragnehmer das Personal der UniBw M in den Betrieb des Mask Aligners einführen.

Die UniBw M benötigt 1 Belichter/ Mask Aligner, welcher 4", 6" und 8" Wafer bearbei-ten kann.

Die UniBw M hat für die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Mask Aligners insgesamt ein Budget von maximal EUR 428.155,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen sowie das Verfahren aufzuheben, sollten ausschließlich Angebote oberhalb des Kostenrahmens eingehen.

Der obsiegende Bieter muss den Mask Aligner spätestens bis zum 15.03.2023 liefern, installieren und in Betrieb nehmen. Der obsiegende Bieter muss eine Garantie für die Funktionsfähigkeit und Beschaffenheit des Mask Aligners für eine Dauer von 24 Mo-naten ab Abnahme übernehmen.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 zum Liefervertrag,

Anlage 2).

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
42000000 Industrielle Maschinen

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 136-388599

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
17/10/2022

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 0

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: SUSS MicroTec Lithography GmbH

Postanschrift: Schleissheimer Str. 90

Ort: Garching

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Postleitzahl: 85748

Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0,01 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes

Postanschrift: Villemombler Straße 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de

Telefon: +49 2289499-0

Fax: +49 2289499-163

VI.4.3.

Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes

gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen.

Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB

spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen

zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des

Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim

Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160

Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Teilnahmefrist bei dem Auftraggeber zu rügen.

VI.4.4.

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes

Postanschrift: Villemombler Str. 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de

Telefon: +49 22894990

Fax: +49 228-9499163

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
18/10/2022