1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: ALD-Anlage
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Kennung des Verfahrens: 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
Interne Kennung: 01.26.O.00
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 461 344,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRM3BQ#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: ALD-Anlage
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Interne Kennung: 01.26.O.00
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 28/08/2026
Enddatum der Laufzeit: 05/09/2027
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
Zusätzliche Informationen: Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Durchschnittlicher Jahresumsatz
Beschreibung des Eignungskriteriums: s. Eigenerklärung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Spezifikationen
Beschreibung: technische Spezifikationen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 70
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 30
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 14/08/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Bankbürgschaft für Anzahlungen
Frist für den Eingang der Angebote: 01/09/2026 13:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 40 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: s.o.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 01/09/2026 13:10:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: - Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Thüringen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer Thüringen
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Registrierungsnummer: DE151282932
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Telefon: 03641206556
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Thüringen
Registrierungsnummer: Land Thüringen
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: 0361573321059
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
10. Änderung
10.1.
Änderung
Abschnittskennung: PROCEDURE
Beschreibung der Änderungen: Verlängerung der Angebotsfrist bis 01.09.2026, 13 Uhr
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 25/08/2026 09:17:10 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 589605-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 164/2026
Datum der Veröffentlichung: 26/08/2026