1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego
Beschreibung: Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (ang. VHF – Vapor Hydrofluoric acid etching system).
Kennung des Verfahrens: bdbc66be-88cc-4822-b2b2-821e5c638e5c
Interne Kennung: CEZAMAT/ZP22/2026
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Warszawa
Land, Gliederung (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Land: Polen
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ. Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą. Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego. Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane. Wraz z ofertą Wykonawca zobowiązany jest złożyć przedmiotowy środek dowodowy potwierdzający spełnianie przez oferowany przedmiot zamówienia parametrów i funkcjonalności wskazanych przez Zamawiającego w kryteriach oceny ofert, tj.: selektywność procesu trawienia warstwy LPCVD SiO₂ względem warstwy PECVD SiN, rozumiana jako stosunek szybkości trawienia LPCVD SiO₂ do szybkości trawienia PECVD SiN. Przedmiotowy środek dowodowy musi jednoznacznie identyfikować oferowany produkt, w szczególności poprzez wskazanie jego producenta, modelu lub typu, oraz potwierdzać parametry i funkcjonalności będące podstawą oceny oferty w kryteriach oceny ofert. Przedmiotowym środkiem dowodowym może być w szczególności karta katalogowa, specyfikacja techniczna producenta, instrukcja obsługi, dokumentacja techniczna, raport z badań, wynikami testów lub innym dokumentem wskazującym wartość selektywności trawienia lub inny dokument wystawiony przez producenta albo jego upoważnionego przedstawiciela, pozwalający na jednoznaczne potwierdzenie wymaganych parametrów i funkcjonalności. Zamawiający informuje, że wezwie do złożenia lub uzupełnienia przedmiotowych środków dowodowych, jeżeli wykonawca nie złożył przedmiotowych środków dowodowych wraz z ofertą lub złożone przedmiotowe środki dowodowe są niekompletne.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego
Beschreibung: 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (ang. VHF – Vapor Hydrofluoric acid etching system). 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Optionen:
Beschreibung der Optionen: Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia według poniższego zestawienia: 1) Monitor końca procesu (end point detection) – funkcja odpowiedzialna za nadzór nad parametrami końcowymi procesu, analizę warunków zakończenia cyklu oraz automatyczną identyfikację osiągnięcia zdefiniowanych wartości granicznych. 2) Opcja wysokiej selektywności procesu (selektywność względem azotku) – rozszerzenie procesowe zwiększające kompatybilność materiałową, w szczególności w odniesieniu do warstw SiN, poprzez poprawę rozróżnienia pomiędzy materiałem obrabianym a azotkiem krzemu. Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w załączniku nr 3 do SWZ- wzór umowy.
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: ul. Poleczki 19
Stadt: Warszawa
Postleitzahl: 02-822
Land, Gliederung (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Land: Polen
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 32 Wochen
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union:
EU-Mittel — Programm: Rahmenprogramm für Forschung und Innovation Horizont Europa (2021/2027)
Kennung der EU-Mittel: Projekt 101213727
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 20 000,00 zł.
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Auftragsunterlagen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Cena - C
Beschreibung: Cena oferty - C - 60 pkt
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Gwarancja - G
Beschreibung: Gwarancja - G - 20 pkt
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Selektywność trawienia LPCVD SiO₂ względem PECVD SiN - S
Beschreibung: Selektywność trawienia LPCVD SiO₂ względem PECVD SiN - S - 20 pkt
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
Name: Platforma zakupowa
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch, Polnisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Varianten: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 29/09/2026 11:00:00 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 90 Tage
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 29/09/2026 11:15:00 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Eröffnungstermin — Beschreibung: Otwarcie odbywa się na platformie elektronicznej. Niezwłocznie po otwarciu ofert zamawiający opublikuje informacje z otwarcia.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Warunki realizacji zamówienia zostały określone w w projektowanych postanowieniach umowy stanowiących załącznik nr 3 do SWZ.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Krajowa Izba Odwoławcza
Informationen über die Überprüfungsfristen: Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Organisation, die Angebote bearbeitet: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Registrierungsnummer: 5250005834
Abteilung: Zamówienia publiczne
Postanschrift: ul. Poleczki 19
Stadt: Warszawa
Postleitzahl: 02-822
Land, Gliederung (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Land: Polen
Kontaktperson: Sekretariat
Telefon: +48 (22) 182 10 22
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Krajowa Izba Odwoławcza
Registrierungsnummer: 5262239325
Postanschrift: ul. Postępu 17A
Stadt: Warszawa
Postleitzahl: 02-676
Land, Gliederung (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Land: Polen
Kontaktperson: Sekretariat Biura Odwołań
Telefon: +48224587801
Fax: +48224587800
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 7634d797-36ac-42d8-9095-2b2d9c272cda - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 26/08/2026 11:53:47 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Polnisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 592446-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 165/2026
Datum der Veröffentlichung: 27/08/2026