165/2026

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München

E-Mail: tornow@tum.de

Rechtsform des Erwerbers: Regionale Gebietskörperschaft

Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2.1.

Verfahren

Titel: Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage

Beschreibung: Eine Atomic-Layer-Deposition (ALD)-Anlage zur Durchführung von Forschungsarbeiten

Kennung des Verfahrens: 196028f0-89e5-49a4-b587-9a9c9c914a98

Interne Kennung: 038/2026

Verfahrensart: Offenes Verfahren

Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2.1.2.

Erfüllungsort

Stadt: Garching

Postleitzahl: 85748

Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)

Land: Deutschland

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0M857#

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

5.1.

Los: LOT-0001

Titel: Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage

Beschreibung: s. Leistungsbeschreibung

Interne Kennung: 038/2026

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte

5.1.2.

Erfüllungsort

Stadt: Garching

Postleitzahl: 85748

Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)

Land: Deutschland

5.1.3.

Geschätzte Dauer

Laufzeit: 1 Jahr

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Preis

Beschreibung: s. Zuschlagskriterien

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 40

Kriterium:

Art: Qualität

Beschreibung: s. Zuschlagskriterien

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 40

Kriterium:

Art: Qualität

Bezeichnung: Kundendienst und technische Hilfe

Beschreibung: s. Zuschlagskriterien

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 20

5.1.15.

Techniken

Rahmenvereinbarung:

Keine Rahmenvereinbarung

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:

Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16.

Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern

Informationen über die Überprüfungsfristen: Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Technische Universität München

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht

Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)

6.1.

Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001

Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2.

Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner:

Offizielle Bezeichnung: Veeco GmbH

Angebot:

Kennung des Angebots: Angebot v. 13.7.2026

Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001

Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht

Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)

Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: Nicht veröffentlicht

Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)

Vergabe von Unteraufträgen: Nein

Informationen zum Auftrag:

Kennung des Auftrags: Angebot v. 13.7.2026

Datum der Auswahl des Gewinners: 31/07/2026

Datum des Vertragsabschlusses: 11/08/2026

6.1.4.

Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote

Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht

Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen