2023-OJS191-599096-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena

Postanschrift: Fürstengraben 1

Ort: Jena

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 07743

Land: Deutschland

E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de

Telefon: +49 3641-9412220

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: https://www.uni-jena.de/

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

Rasterelektronenmikroskop

Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.

Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:

- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen

- CD-Messung

- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen

- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen

- Geometrische Analyse von Nanopartikeln

- Abbildung von Baulementen (Chip)

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 630 000,00 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung: Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:

- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen

- CD-Messung

- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen

- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen

- Geometrische Analyse von Nanopartikeln

- Abbildung von Baulementen (Chip)

weiteres siehe Anlage 2

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Wirtschaftlichkeit / Gewichtung: 50

Preis - Gewichtung: 50

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 134-426018

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: EU-OV/2023-125

Bezeichnung des Auftrags:

Rasterelektronenmikroskop

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
29/09/2023

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Jeol (Germany) GmbH

Ort: Freising

NUTS-Code: DE21B Freising

Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 630 000,00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 519 154,70 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

Los 2: Entsorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer

Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4

Ort: Weimar

Postleitzahl: 99423

Land: Deutschland

VI.4.3.

Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im

Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an

die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit

Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von

15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der

Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen

kann.

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
29/09/2023