2021-OJS230-603662-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Universität der Bundeswehr München

Nationale Identifikationsnummer: DE 811 272 995

Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39

Ort: Neubiberg

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Postleitzahl: 85579

Land: Deutschland

Kontaktstelle(n): ZV I.3

E-Mail: zv13@unibw.de

Telefon: +49 8960042233

Fax: +49 8960042691

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42000000 Industrielle Maschinen

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.

Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts. Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1. Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren. Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar. Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags. Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können. Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 191-494122

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
22/11/2021

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

Postanschrift: Josef-Beyerle-Str 18-1

Ort: Weil der Stadt

NUTS-Code: DE112 Böblingen

Postleitzahl: 71263

Land: Deutschland

E-Mail: info@mbe-components.com

Telefon: +49 70336937218

Internet-Adresse: www.mbe-components.com

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0,01 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes

Postanschrift: Villemombler Straße 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de

Telefon: +49 2289499-0

Fax: +49 2289499-163

Internet-Adresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
22/11/2021