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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Beschreibung: Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.
Kennung des Verfahrens: 13dcfc3d-4f30-4783-ab35-fef4567ee680
Verfahrensart: Offenes Verfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Zürich ETH Hönggerberg
Postleitzahl: 8093
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Begründung des Zuschlagentscheides Der erfolgreiche Anbieter erzielte die höchste Gesamtpunktzahl und erhielt daher den Zuschlag. Sein Angebot bot das vorteilhafteste Gesamtverhältnis aus technischer Qualität, Erfüllung der festgelegten Anforderungen, effizienter Raumnutzung und Wirtschaftlichkeit. Es verband eine hohe technische Bewertung mit einem wettbewerbsfähigen Anschaffungspreis und vorteilhaften Lebenszykluskosten.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Beschreibung: Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen:
Beschreibung der Optionen: gemäss Ausschreibungsunterlagen
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Zürich ETH Hönggerberg
Postleitzahl: 8093
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
5.1.4.
Verlängerung
Maximale Verlängerungen: 0
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Zuschlagskriterien
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Die Zuschlagskriterien wurden den Anbietern mit der Ausschreibung zugestellt.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundesverwaltungsgericht
Informationen über die Überprüfungsfristen: Rechtsmittelbelehrung Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen. Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 767 435,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: DE_SURFACE systems + technology GmbH & Co KG
Angebot:
Kennung des Angebots: cc9a399c-7f30-49d5-b664-4443a6da4c10
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: 1 767 435,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: N/A
Datum des Vertragsabschlusses: 01/09/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Bandbreite der Angebote:
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 1 767 435,00 EUR
Wert des höchsten zulässigen Angebots: 1 767 435,00 EUR
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Registrierungsnummer: 9ddf3cf0-d7a8-4afe-8303-47da0b89cb5a
Postanschrift: Binzmühlestrasse 130
Stadt: Zürich
Postleitzahl: 8092
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
Telefon: +41446321111
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer: BVGER
Postanschrift: Postfach
Stadt: St. Gallen
Postleitzahl: 9023
Land, Gliederung (NUTS): St. Gallen (CH055)
Land: Schweiz
Telefon: +41584652626
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Simap.ch
Registrierungsnummer: CH001
Postanschrift: Holzikofenweg 36
Stadt: Bern
Postleitzahl: 3003
Land, Gliederung (NUTS): Bern / Berne (CH021)
Land: Schweiz
Telefon: +41584646388
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
8.1.
ORG-0010
Offizielle Bezeichnung: DE_SURFACE systems + technology GmbH & Co KG
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: 0d73e605-25a3-425d-a5ff-eebd6494b2b1
Postanschrift: Rheinstr. 7
Stadt: Hückelhoven
Postleitzahl: 41836
Land, Gliederung (NUTS): Heinsberg (DEA29)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ba805580-f2ea-4c15-b5c6-62f40c587c09 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/09/2026 02:26:03 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Französisch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 604227-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 169/2026
Datum der Veröffentlichung: 02/09/2026