607364-2023 - ErgebnisDeutschland-Köln: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
OJ S 194/2023 09/10/2023
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Postanschrift: Linder Höhe
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA23 Köln, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 51147
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Sonja Lehmberg
E-Mail: kanzlei@boesen.de
Telefon: +49 228/215290
Fax: +49 228/215491
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
Adresse des Beschafferprofils: http://www.dlr.de/
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschungseinrichtung
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Galvanik IZHH
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - RC03
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Beschaffung einer Prozessanlage Galvanik zur Ausstattung des Innovationszentrums Hamburg des DLR im Rahmen der Quantencomputing-Initiative einschließlich Lieferung, Einbringung in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung, Erstbefüllung der Galvanikbäder mit Elektrolyten gemäß Spezifikation sowie anschließendem Service/Wartung.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE60 Hamburg
Hauptort der Ausführung: DLR-Standort Innovationszentrum Hamburg (in Planung/Aufbau)
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt.
Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Beschichtung von Metallschichten auf Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm.
Zu liefern ist eine Prozessanlage Galvanik, die der Herstellung von mikrometerdicken Metallfilmen auf strukturierten oder planaren Substraten von bis zu 150 mm Durchmesser dienen soll. Die Anlage soll für die strombasierte Abscheidung von Gold (Au), Kupfer (Cu) und Zinn (Sn) konzipiert werden, wobei die drei Prozesse zeitgleich zur Verfügung stehen. Als Schichtdicken werden je nach Metall 1 µm bis 50 µm angestrebt.
Die Bearbeitung der Wafer erfordert eine partikelfreie und sichere Umgebung die durch ein geeignete Laminarflowbank mit Abluftabzug in der Arbeitsfläche gewährleistet wird. Für den Arbeitsschutz und zur Reduktion der benötigten Abluftmenge im Betrieb soll die Arbeitsbank der Galvanikanlage als Chemikalienabzug (Digestorium) mit integrierten Zuluftfiltereinheiten (Fan Filter Unit FFU) und beweglicher Frontscheibe ausgeführt werden. Die Anlage wird in einem Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt und betrieben.
Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme, eine Schulung sowie die Erstbefüllung der Galvanikbäder mit Elektrolyten gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualität der Prozessanlage Galvanik / Gewichtung: 30%
Qualitätskriterium - Name: Service und Lieferung / Gewichtung: 20%
Preis - Gewichtung: 50%
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 145-464348
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1.
Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 228-94990
Fax: +49 228-9499163
Internet-Adresse: http://www.bundeskartellamt.de
VI.4.3.
Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit
• der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungs-verfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 228-94990
Fax: +49 228-9499163
Internet-Adresse: http://www.bundeskartellamt.de
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
04/10/2023