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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: CEA Grenoble
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Beschreibung: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Kennung des Verfahrens: bd04b75b-379d-4845-8ef9-e8ac0a202975
Vorherige Bekanntmachung: 848522-2025
Interne Kennung: B25-04834-LR
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Grenoble
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Zusätzliche Informationen: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Il a été indiqué 1.00 à la rubrique « montant » uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures/prestations/services sans violer le secret des affaires.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Beschreibung: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Interne Kennung: B25-04834-LR
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Prix de l'équipement : 45 %
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 45
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Performance économique du cout de la maintenance en full service proposée : 10 %
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 2 « MEMS Comb », 4 «Through Si wide area » et 6 « Via reveal (Copper nail) » : 23%
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 23
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 1 « TSV last », 3 « MEMS Beam », 5 « Trench High Aspect Ratio » et 7 « No Bosch Trench » : 12%
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 12
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware de l’équipement : 10%
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Tribunal administratif
Informationen über die Überprüfungsfristen: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Tribunal administratif
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: CEA Grenoble
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: KLA CORPORATION
Angebot:
Kennung des Angebots: B25-04834-LR
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 1,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: ja
Rangfolge des Angebots: 1
Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: B25-04834-LR
Datum des Vertragsabschlusses: 18/08/2026
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: CEA Grenoble
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: CEA Grenoble
Registrierungsnummer: 77568501900298
Postanschrift: 17 rue des Martyrs
Stadt: Grenoble
Postleitzahl: 38054
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Kontaktperson: Mme. Laure REYNAUD
Telefon: 06 75 02 30 11
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Tribunal administratif
Registrierungsnummer: 173800053
Postanschrift: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Stadt: Grenoble Cedex
Postleitzahl: 38022
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Telefon: 0476429000
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: KLA CORPORATION
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: 332 126 309 0142
Abteilung: ISERE
Postanschrift: 387 avenue Jean Kuntzmann
Stadt: Montbonnot Saint Martin
Postleitzahl: 38330
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Kontaktperson: Franck TORRES
Telefon: +33 6 82 09 05 49
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 433c5706-4b31-4df9-8c88-b26c9f856481 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 03/09/2026 14:36:53 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Französisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 614409-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 172/2026
Datum der Veröffentlichung: 07/09/2026