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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Beschreibung: THE SUBJECT OF THE PROCUREMENT The subject of the procurement is a plasma-enhanced automated cassette to cassette chemical vapor deposition (PECVD) system for deposition of dielectric thin films (SiO#, SiN, TEOS, SiON, a Si) for research and pilot line use in the VTT Micronova cleanroom. DIRECT AWARD, Article 40 2(2) of Finnish Procurement act (1397/2016) The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. According to the 40 § section 2(2) of the Act on Public Contracts (1397/2016), only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, or for a reason related to protecting an exclusive right; it shall be a further condition that there are no reasonable alternatives or substitute solutions, and that the absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. The justification for direct procurement applies in this case, as VTT already operates an existing deep reactive ion etching (DRIE) system manufactured by SPTS. In order to extend the operational lifetime of the existing etch chamber, and optimize the use of limited cleanroom space, it is necessary to integrate the existing etch chamber with a new system. Due to proprietary hardware and software rights, only the original manufacturer of the existing DRIE system (KLA/SPTS) is technically capable of integrating the etch chamber with newer system configurations. The process tool control software is developed by the equipment manufacturer and is specifically designed for defined system configurations; consequently, it is not transferable to equipment supplied by other manufacturers. Accordingly, no reasonable alternative or substitute solution exists, and the absence of competition is not the result of an artificial restriction of the procurement conditions.
Kennung des Verfahrens: 947d4fa6-81c9-416b-a79f-c15271acd94f
Interne Kennung: Reg. no 57/206/2026
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Beliebiger Ort
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Beschreibung: THE SUBJECT OF THE PROCUREMENT The subject of the procurement is a plasma-enhanced automated cassette to cassette chemical vapor deposition (PECVD) system for deposition of dielectric thin films (SiO#, SiN, TEOS, SiON, a Si) for research and pilot line use in the VTT Micronova cleanroom. DIRECT AWARD, Article 40 2(2) of Finnish Procurement act (1397/2016) The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. According to the 40 § section 2(2) of the Act on Public Contracts (1397/2016), only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, or for a reason related to protecting an exclusive right; it shall be a further condition that there are no reasonable alternatives or substitute solutions, and that the absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. The justification for direct procurement applies in this case, as VTT already operates an existing deep reactive ion etching (DRIE) system manufactured by SPTS. In order to extend the operational lifetime of the existing etch chamber, and optimize the use of limited cleanroom space, it is necessary to integrate the existing etch chamber with a new system. Due to proprietary hardware and software rights, only the original manufacturer of the existing DRIE system (KLA/SPTS) is technically capable of integrating the etch chamber with newer system configurations. The process tool control software is developed by the equipment manufacturer and is specifically designed for defined system configurations; consequently, it is not transferable to equipment supplied by other manufacturers. Accordingly, no reasonable alternative or substitute solution exists, and the absence of competition is not the result of an artificial restriction of the procurement conditions.
Interne Kennung: Reg. no 57/206/2026
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Beliebiger Ort
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 324251-2026
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Reference price
Kategorie des Festwert-Zuschlagskriteriums: Fester Wert (insgesamt)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Markkinaoikeus
6. Ergebnisse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann aufgrund von Ausschließlichkeitsrechten, darunter von Rechten des geistigen Eigentums, nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden
Sonstige Begründung: The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. According to the 40 § section 2(2) of the Act on Public Contracts (1397/2016), only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, or for a reason related to protecting an exclusive right; it shall be a further condition that there are no reasonable alternatives or substitute solutions, and that the absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. The justification for direct procurement applies in this case, as VTT already operates an existing deep reactive ion etching (DRIE) system manufactured by SPTS. In order to extend the operational lifetime of the existing etch chamber, and optimize the use of limited cleanroom space, it is necessary to integrate the existing etch chamber with a new system. Due to proprietary hardware and software rights, only the original manufacturer of the existing DRIE system (KLA/SPTS) is technically capable of integrating the etch chamber with newer system configurations. The process tool control software is developed by the equipment manufacturer and is specifically designed for defined system configurations; consequently, it is not transferable to equipment supplied by other manufacturers. Accordingly, no reasonable alternative or substitute solution exists, and the absence of competition is not the result of an artificial restriction of the procurement conditions.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: KLA Corporation
Angebot:
Kennung des Angebots: Quotation
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD)
Datum der Auswahl des Gewinners: 02/09/2026
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Registrierungsnummer: 2647375-4
Postanschrift: PL 1000
Stadt: VTT
Postleitzahl: 02044
Land, Gliederung (NUTS): Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
Land: Finnland
Kontaktperson: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Telefon: +358 20722111
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Markkinaoikeus
Registrierungsnummer: 3006157-6
Postanschrift: Radanrakentajantie 5
Stadt: Helsinki
Postleitzahl: 00520
Land, Gliederung (NUTS): Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
Land: Finnland
Telefon: +358 295643300
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: KLA Corporation
Registrierungsnummer: KLA
Postanschrift: 1 Technology Drive
Stadt: Milpitas
Postleitzahl: CA 95035
Land: Vereinigte Staaten
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Hansel Oy (Hilma)
Registrierungsnummer: FI09880841
Postanschrift: Mannerheiminaukio 1a
Stadt: Helsinki
Postleitzahl: 00100
Land, Gliederung (NUTS): Helsinki-Uusimaa (FI1B1)
Land: Finnland
Kontaktperson: eSender
Telefon: 029 55 636 30
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ea7f484b-d5c8-4deb-b483-5305204a2bdf - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 03/09/2026 12:48:13 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Bekanntmachung — eSender-Übermittlungsdatum: 03/09/2026 12:48:14 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 615316-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 172/2026
Datum der Veröffentlichung: 07/09/2026