2022-OJS215-616882-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Postanschrift: Max-Planck-Ring 14

Ort: Ilmenau

NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis

Postleitzahl: 98693

Land: Deutschland

E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de

Telefon: +49 3677-691744

Fax: +49 3677-691931

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

Laserdirektbelichter

Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2.

Beschreibung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis

Hauptort der Ausführung: TU Ilmenau

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Benötigt wird eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Spezifikationen / Gewichtung: 80

Qualitätskriterium - Name: Software/Steuerung / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: Garantie / Gewichtung: 5

Preis - Gewichtung: 1

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz: EFRE-OP 2014-2020

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2019/S 151-372179

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: TU-075/19-201-ZMN

Bezeichnung des Auftrags:

Laserdirektbelichter

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1.

Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei

zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich

bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)

sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt

Postanschrift: Weimar Platz 4

Ort: Weimar

Postleitzahl: 99423

Land: Deutschland

Telefon: +49 361-37700

VI.4.3.

Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB

VI.4.4.

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt

Postanschrift: Weimar Platz 4

Ort: Weimar

Postleitzahl: 99423

Land: Deutschland

Telefon: +49 361-37700

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
03/11/2022