Die Liste der kritischen Gase umfasst:
• Ammoniak, Arsin, Bortrichilorid, Bromwasserstoff, Chlor, Dichlorsilan, Distickstoffmonoxid,
Phosphorwasserstoff, Silan, TEOS, Tetrafluormethan, Wolframhexafluorid
Alle Anlagen sowie Zu- und Ableitungen müssen gespült werden und die verbleibenden Leitungen
müssen fachgerecht und sicher verschlossen werden. Insbesondere das Spülen und der Verschluss
der verbleibenden Leitungen erfordert detaillierte Kenntnisse der installierten Infrastruktur und der in
Betrieb befindlichen Sicherheitsanlagen.
Genaue Kenntnis der installierten Sicherheitsanlagen und der Anschlüsse der Anlagen hat nur die
Fa. Fäth, die diese Anlagen installiert hat, sie wartete und sicherheitstechnisch betreut.2
Wie aus der Leistungsbeschreibung hervorgeht, ist ein wichtiger Punkt die Erstellung einer
Gefährdungsbeurteilung vor dem Durchführen der Arbeiten. Ohne das Wissen der installierten
Sicherheitsanlagen ist diese Aufgabe nicht zu erfüllen. Pläne dieser Anlagen und deren
Spezifikationen sind uns nicht zugänglich, sodass wir weiteren Firmen diese Information nicht
bereitstellen können und damit ein Wettbewerb ausgeschlossen ist.
Zusammenfassend lässt sich festhalten, dass für den „hookdown“ der Anlagen am Standort
Neuperlach aufgrund ihres einzigartigen know-hows nur die Fa. Fäth (FäthGroup) infrage kommt.
Dies beruht auf den Tatsachen, dass
• diese Firma die gesamte Infrastruktur am Standort wartet und betreut
• nur diese Firma den Anschluss der Anlagen in unserem Reinraum durchgeführt hat und sie
dadurch über Detailwissen verfügt, das anderen Firmen nicht zugänglich ist und
• nur diese Firma über Detailkenntnisse des Sicherheitssystems am Standort verfügt, die eine
verlässliche Gefährdungsbeurteilung für Personal, Anlagen und Umwelt erlauben