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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Kennung des Verfahrens: 15c8e287-b0f5-4e67-a119-8ff7e09306b2
Interne Kennung: FBH-2026-0007
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 05/10/2026
Enddatum der Laufzeit: 04/10/2030
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Kosten
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung, teilweise mit erneutem Aufruf zum Wettbewerb, teilweise ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin zuständig
Informationen über die Überprüfungsfristen: Entsprechend den gesetzlichen Bestimmungen.
6. Ergebnisse
Höchstwert der Rahmenvereinbarungen in dieser Bekanntmachung: 799 500,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Im Rahmen des EU-Projekts APECS ergänzt das Ferdinand-Braun-Institut (FBH) seine bestehende Anlagentechnik, um Prozesslinien für bipolare InP-Chiplets und GaAs-Laser-Chiplets zu etablieren und auf größere Substratdurchmesser (mindestens 150 mm und 200 mm) zu erweitern. Hierfür betreibt der Auftraggeber bereits eine hochspezialisierte Clusteranlage des Typs Oxford Instruments PlasmaPro 100, die integraler Bestandteil der bestehenden Prozess- und Reinrauminfrastruktur ist. Zur Umsetzung der erweiterten Prozessanforderungen ist die Ergänzung dieser bestehenden Anlage um eine zusätzliche TEOS-basierte PECVD-Prozesskammer vorgesehen. Diese Zusatzkammer muss vollständig in die bestehende Clusterarchitektur integriert werden und sowohl hardware- als auch softwareseitig mit der vorhandenen Anlage interoperabel sein. Die Integration umfasst insbesondere die Einbindung in das bestehende Vakuum-, Transfer- und Steuerungssystem sowie die Nutzung vorhandener Prozessrezepte, Schnittstellen und Automatisierungsabläufe. Eine Substitution der bestehenden Anlage oder eine grundlegende Anpassung der bestehenden Prozesslinie ist aus technischen und wirtschaftlichen Gründen ausgeschlossen. Die Kompatibilität innerhalb der Clusterplattform ist zwingend erforderlich, um die Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit sowie die Reinraumbedingungen sicherzustellen. Aus objektiv nachvollziehbaren technischen Gründen kommt daher ausschließlich eine Prozesskammer in Betracht, die speziell für den Betrieb innerhalb der vorhandenen Oxford Instruments PlasmaPro 100 Clusteranlage ausgelegt ist. Eine gleichwertige Lösung anderer Hersteller ist nicht verfügbar, ohne unverhältnismäßige technische Risiken, erhebliche Integrationsaufwände oder Einschränkungen der Funktionsfähigkeit der Gesamtanlage in Kauf zu nehmen. Insbesondere wären bei Einsatz eines nicht kompatiblen Systems umfangreiche Anpassungen an der bestehenden Infrastruktur, Steuerungssoftware sowie an qualifizierten Prozessabläufen erforderlich, was den wirtschaftlichen und technischen Rahmen des Vorhabens überschreiten würde. Die ausnahmsweise Bezugnahme auf die bestehende Anlage erfolgt daher aus technischen Gründen im Sinne des § 31 Abs. 6 VgV. Die Durchführung eines Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb erfolgt auf Grundlage des § 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VgV. Zur Wahrung der Transparenz wurde eine EU-weite ex-ante-Transparenzbekanntmachung (254771-2026) veröffentlicht.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
Rahmenvereinbarung:
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 799 500,00 EUR
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 05/10/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 63922600
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin zuständig
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE113869215
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 6122937130
Fax: +49 6122937178
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 54e651ab-512b-4e69-a157-8e1286ad23d7 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 05/10/2026 13:35:05 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 686058-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 193/2026
Datum der Veröffentlichung: 06/10/2026