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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Beschreibung: Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.
Kennung des Verfahrens: da0b9cec-a813-47c7-a81c-f93f486f98fa
Interne Kennung: TU-025/25-201-ZMN
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512000 Ionen- und Molekularmikroskope
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0T)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Beschreibung: Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.
Interne Kennung: TU-025/25-201-ZMN
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512000 Ionen- und Molekularmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0T)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen InternetAdresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter derRufnummer: 0228/99 6101234 zur Verfügung. ____________ Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: https://uea.publicprocurement.be/filter?lang=de Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken Bitte weiterhin daraufachten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können. „Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden „JA“ anklicken. Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden. ____________ Hinweise zum Formblatt "Angaben zum Wirtschaftlich Berechtigten" Das Formblatt muss für mind. einen Wirtschaftlich Berechtigten ausgefüllt werden. Sollte das Formblatt unvollständig ausgefüllt werden, führt dies zum Ausschluss aus dem Verfahren. ____________ § 8 ThürVgG -Verfahrensanforderungen (1) Bieter sind verpflichtet mit der Abgabe des Angebotes eine Eigenerklärung zur Einhaltungder Bestimmungen des Vergabegesetzes vorzulegen. Das für das öffentliche Auftragswesen zuständige Ministerium legt den Wortlaut der Erklärung nach Satz 1 im Einvernehmen mit dem dafür zuständigen Ausschuss des Thüringer Landtagsfest. Der Auftraggeber ist verpflichtet, in der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen darauf hinzuweisen, dass nur Angebote gewertet werden können, welchen eine Erklärung nach Satz 1 beigefügt ist. Gemäß § 8(1) ThürVgG ist das den Vergabeunterlagen beigefügte Dokument „Anlage_Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 2.1.6. Abs. 1 S.1“ mit dem Angebot einzureichen. Es können nur Angebote gewertet werden, welche die genannte Erklärungenthalten.
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: 50% Techn. Spezifikationen
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: 50% Preis
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Die Zuschlagskriterien befinden sich in den Vergabekriterien. Das Dokument "025-25_vorläufige Bewertungsmatrix" ist in den Vergabeunterlagen enthalten.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Freistaat Thüringen
Informationen über die Überprüfungsfristen: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 155 000,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: FEI Deutschland GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: QUO-180364-Z5Z4 R1
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: 1 155 000,00 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: A25/201/0485
Datum der Auswahl des Gewinners: 17/10/2025
Datum des Vertragsabschlusses: 17/10/2025
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union:
Kennung der EU-Mittel: 2024 IZN 0002
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
Registrierungsnummer: 16901581-0001-19
Postanschrift: Ehrenbergstraße 29
Stadt: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0T)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Freistaat Thüringen
Registrierungsnummer: t:0361573321254
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: +49361573321254
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: FEI Deutschland GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: HRB53330
Stadt: Dreieich
Postleitzahl: 63303
Land, Gliederung (NUTS): Offenbach, Landkreis (DE71C)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: df793964-8cfb-46a9-8eb5-842208bcfba7 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 20/10/2025 11:08:48 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 691528-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 202/2025
Datum der Veröffentlichung: 21/10/2025