207/2025

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Universität der Bundeswehr München (UniBw M)

E-Mail: BeschaffungUniBwM@heuking.de

Rechtsform des Erwerbers: Zentrale Regierungsbehörde

Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2.1.

Verfahren

Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage

Beschreibung: Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet. Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert. Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt VITAL-SENSE durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf zweidimensionalen (2D) Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Die zivilen und militärischen Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig. In Zusammenarbeit mit der Bundeswehr können spezifische Lösungen erarbeitet werden. Für die Bundeswehr sind diese Systemüberlegungen von größter Bedeutung, da zukünftige Konzepte, zum Beispiel für das Sanitätswesen, autonome Systeme oder die Sicherheit der Soldaten und der Zivilbevölkerung, direkten Nutzen aus dem Vorhaben generieren können. Im Rahmen des Projekts VITAL-SENSE will die UniBw M mit verschiedenen 2D-Materialien und Schichtsystemen Halbleiterstrukturen herstellen, wie sie z. B. in LEDs, Lasern, Solarzellen oder Hochgeschwindigkeitstransistoren verwendet werden. Dafür benötigt sie eine Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage), die all diese Schichten in hoher Qualität auf ihre Substrate wachsen kann. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage) zur gleichzeitigen Prozessierung von drei 2-Zoll-Substraten einschließlich der Durchführung eines Trainings. Der Auftragnehmer muss insbesondere folgende Leistungen erbringen: - Lieferung einer MOVPE-Anlage mit Showerhead-Technologie im Reaktor und einem manuellen Kammer Reinigungsprozess, Temperaturkontrolle, Pumpsystem und Anschlüssen für ein vom Auftragnehmer spezifiziertes Kühlsystem (Heat-Exchanger) inklusive Computer Control System, dass alle Anlagen und Beschichtungsprozesse überwacht und steuert sowie einem Gas handling System; - Installation und Inbetriebnahme der Anlage; - 3-tägiges Training für zwei Teilnehmer.

Kennung des Verfahrens: 38832c2b-8ac4-40c1-a7fd-012a3a0e24e1

Vorherige Bekanntmachung: 609982-2025

Interne Kennung: UniBw M dtec.bw - PT 567

Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2.

Erfüllungsort

Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39

Stadt: Neubiberg

Postleitzahl: 85577

Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)

Land: Deutschland

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YVC51DJ#

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

5.1.

Los: LOT-0001

Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage

Beschreibung: Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitäten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet. Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert. Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt VITAL-SENSE durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf zweidimensionalen (2D) Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Die zivilen und militärischen Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig. In Zusammenarbeit mit der Bundeswehr können spezifische Lösungen erarbeitet werden. Für die Bundeswehr sind diese Systemüberlegungen von größter Bedeutung, da zukünftige Konzepte, zum Beispiel für das Sanitätswesen, autonome Systeme oder die Sicherheit der Soldaten und der Zivilbevölkerung, direkten Nutzen aus dem Vorhaben generieren können. Im Rahmen des Projekts VITAL-SENSE will die UniBw M mit verschiedenen 2D-Materialien und Schichtsystemen Halbleiterstrukturen herstellen, wie sie z. B. in LEDs, Lasern, Solarzellen oder Hochgeschwindigkeitstransistoren verwendet werden. Dafür benötigt sie eine Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage), die all diese Schichten in hoher Qualität auf ihre Substrate wachsen kann. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOVPE-Anlage) zur gleichzeitigen Prozessierung von drei 2-Zoll-Substraten einschließlich der Durchführung eines Trainings. Der Auftragnehmer muss insbesondere folgende Leistungen erbringen: - Lieferung einer MOVPE-Anlage mit Showerhead-Technologie im Reaktor und einem manuellen Kammer Reinigungsprozess, Temperaturkontrolle, Pumpsystem und Anschlüssen für ein vom Auftragnehmer spezifiziertes Kühlsystem (Heat-Exchanger) inklusive Computer Control System, dass alle Anlagen und Beschichtungsprozesse überwacht und steuert sowie einem Gas handling System; - Installation und Inbetriebnahme der Anlage; - 3-tägiges Training für zwei Teilnehmer.

Interne Kennung: UniBw M dtec.bw - PT 567

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Optionen:

Beschreibung der Optionen: Auf Abruf des Auftraggebers muss der Auftragnehmer zusätzlich folgende optionale Leistung erbringen: - Nachrüstung eines Heat Exchangers (Option).

5.1.2.

Erfüllungsort

Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39

Stadt: Neubiberg

Postleitzahl: 85577

Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)

Land: Deutschland

5.1.3.

Geschätzte Dauer

Datum des Beginns: 02/10/2025

Enddatum der Laufzeit: 30/06/2026

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja

Informationen über frühere Bekanntmachungen:

Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 609982-2025

Zusätzliche Informationen: Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierungs- und Technologieforschung der Bundeswehr" (dtec.bw) gegründet. dtec.bw ist Bestandteil des Konjunkturprogrammes der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. dtec.bw wird von der Europäischen Union finanziert. Das Projekt VITAL-SENSE wird durch dtec.bw finanziert.

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Preis

Bezeichnung: Preis

Beschreibung: Preis

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 100

5.1.15.

Techniken

Rahmenvereinbarung:

Keine Rahmenvereinbarung

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:

Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16.

Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes

Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Einlegung von Rechtsbehelfen richtet sich nach den Vorschriften der §§ 155 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Es wird ferner darauf hingewiesen, dass der Auftraggeber vor dem Vertragsschluss eine Bekanntmachung im Sinne von § 135 Abs. 3 GWB veröffentlicht hat. Bei Vorliegen der Voraussetzungen von § 135 Abs. 3 GWB tritt keine Unwirksamkeit nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB ein.

Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität der Bundeswehr München (UniBw M)

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 149 200,00 EUR

Direktvergabe:

Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist

Sonstige Begründung: Ein Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb ist nach § 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b) und lit. c), Abs. 6 VgV zulässig. Nach dieser Norm darf ein öffentlicher Auftraggeber Aufträge im Wege des Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb vergeben, wenn zum Zeitpunkt der Aufforderung zur Abgabe von Angeboten nur ein bestimmtes Unternehmen den Auftrag erbringen oder bereitstellen kann, weil aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist oder wegen des Schutzes von ausschließlichen Rechten, insbesondere von gewerblichen Schutzrechten. Zudem darf es keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung geben und der mangelnde Wettbewerb darf nicht das Ergebnis einer künstlichen Einschränkung der Auftragsvergabeparameter sein. Für die zu beschaffende Leistung kommt nur ein einziger Anbieter in Betracht. Ein Markt besteht nicht. Die UniBw M möchte eine MOVPE-Anlage mit einem Gaseinlasssystem beschaffen, das gesichert die diversen Precursoren getrennt führt und erst unmittelbar über dem Wafer getrennt voneinander, aber doch aus räumlich unmittelbar benachbarten Düsen injiziert (Close Coupled-Showerhead). Die Verteilung der Precursoren muss zudem nachweislich laminar (verwirbelungsfrei) sein. Die zu beschaffende Anlage muss zudem eine Temperatur von 1.200 °C, zu messen am Substrat, erreichen. Die zu beschaffende Anlage muss so konstruiert sein, dass die UniBw M die Gaskonzentrationen inline in Echtzeit messen kann. AIXTRON SE (Aixtron) ist europaweit der einzige Anbieter entsprechender Anlagen. Kein anderes Unternehmen verfügt über das erforderliche Know-how, um eine entsprechende Anlage zu bauen. Zudem hält Aixtron zwei für die Leistungserbringung erforderliche Patente. Aixtron bietet eine einzigartige patentierte Technik an, mit der das Process Gap während des Prozesses zwischen 5 mm und 25 mm dynamisch verändert und dadurch das Prozessfenster untersucht und optimiert werden kann. Dies benötigt die UniBw M, um Schichtsysteme wachsen zu können, die eine Weiterentwicklung ihrer derzeitigen Heterostrukturen darstellen können. Zudem bietet Aixtron ein patentiertes Temperaturüberwachungssystem an. Mit diesem System kann die UniBw M u. a. das Temperaturprofil über den Suszeptor ausgleichen, um eine optimale Homogenität der Schichtabscheidung zu erreichen. Zudem kann sie die ermittelte Oberflächentemperatur mit der Topside-Temperaturregelungsfunktion kombinieren. Dies ermöglicht eine sehr hohe Temperaturhomogenität auf dem Wafer, von Wafer zu Wafer und von Lauf zu Lauf. Die UniBw M benötigt das vollständige Temperaturprofil des gesamten Wafers in Echtzeit, da geringste Temperaturabweichungen unerwünschte Variationen in den Eigenschaften der erzeugten Schichten zur Folge haben und die Gründe dieser Variationen sonst nicht nachvollziehbar wären. Eine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung existiert nicht und der mangelnde Wettbewerb ist auch nicht das Ergebnis einer künstlichen Einschränkung der Auftragsvergabeparameter. Die UniBw M hat sich insbesondere aus sachlichen und auftragsbezogenen Gründen willkürfrei entschieden, eine MOVPE-Anlage mit der Close Coupled Showerhead-Technologie zu beschaffen. Diese verhindert unerwünschte Vorreaktionen in der Gasphase oder im Zuleitungsweg. Da die UniBw M die Anlage zu Forschungs- und Entwicklungszwecken einsetzen möchte, ist es unerlässlich, eine flexible Gasmischung mit einer großen Anzahl von Quellen zur Verfügung zu stellen. Ohne die laminare Strömung wäre die erforderliche homogene Beschichtung nicht gewährleistet. Das Temperaturprofil benötigt die UniBw M, um unerwünschte und nicht nachvollziehbare Variationen in den Eigenschaften der Schichten zu vermeiden. Die UniBw M muss zudem die Gaskonzentrationen inline in Echtzeit messen, um diese als Feedback für die Regelung der Gaseinlässe nutzen zu können. Dies ermöglicht eine reproduzierbare Schichtqualität.

6.1.

Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001

Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2.

Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner:

Offizielle Bezeichnung: AIXTRON SE

Angebot:

Kennung des Angebots: PT 567

Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001

Wert des Angebots: 1 149 200,00 EUR

Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein

Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt

Informationen zum Auftrag:

Kennung des Auftrags: UniBw M - PT 567

Titel: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer MOVPE-Anlage

Datum des Vertragsabschlusses: 02/10/2025

6.1.4.

Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote

Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht

Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1

Art der eingegangenen Einreichungen: Teilnahmeanträge