713142-2025 - Wettbewerb
Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Process Monitoring Tool
OJ S 208/2025 29/10/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Process Monitoring Tool
Beschreibung: Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Kennung des Verfahrens: a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
Interne Kennung: PR1034394 (brueckne)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Korruption: 
Betrug: 
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: 
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: 
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: 
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: 
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: 
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: 
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: 
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: 
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: 
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: 
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: 
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: 
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: 
Zahlungsunfähigkeit: 
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: 
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: 
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Process Monitoring Tool
Beschreibung: Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Interne Kennung: 0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 01/06/2026
Enddatum der Laufzeit: 31/07/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme#
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Firmenprofil Company profile Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Presentation of the company: Minimum information: - Year of foundation - Important milestones of the company - Number of employees - what is produced/what services are provided --> Please provide all information in text form, NO links or images.

Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Eignungskriteriums: Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens anzugeben. Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. English: If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable evidence of the new establishment must be enclosed. In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe_D_07-24 Self-declaration regarding absence of exclusion criteria_07-24

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25 Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Schriftliche Erklärung Bank/Written declaration from bank Im Falle einer Zahlungsbedingung mit Bankbürgschaft ist eine Schriftliche Erklärung Ihrer Bank beizubringen, dass nach Zuschlagserteilung eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster (1_B_Bankguarantee Form), ausgestellt wird. IN DEM TEXTFELD IST DIE DATEI ZU BENNENEN, WELCHE SIE ALS NACHWEIS HOCHLADEN. ***ACHTUNG*** - Die Fraunhofer Gesellschaft akzeptiert keine Bankbürgschaften von der R+V-Versicherung. - Bei Einsatz von Subunternehmern muss nur der Hauptauftragnehmer diesen Punkt erfüllen. ***ENGLISH*** In the case of a payment condition with a bank guarantee, a written declaration from your bank must be provided stating that a bank guarantee will be issued in accordance with the tender template (1_B_Bankguarantee Form) after the contract has been awarded. PLEASE NAME THE FILE YOU ARE UPLOADING AS PROOF IN THE TEXT FIELD. THE FILE, WHICH YOU MUST UPLOADAS PROOF, IS TO BE SPECIFIED IN THETEXT FIELD. ***NOTE*** - Fraunhofer Company does not accept bank guarantees from R+V Insurance. - If subcontractors are used, only the main contractor has to fulfill this point.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium: 
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualitätskriterium
Beschreibung: Technische Ausführung/techninal specification
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium: 
Art: Preis
Bezeichnung: Preiskriterium
Beschreibung: Preis/price
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung: 
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 02/12/2025 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 60 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: 
Fehlende Bieterunterlagen können nicht nach Fristablauf nachgereicht werden.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: 
Eröffnungstermin: 02/12/2025 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen: 
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen. English: (1) Pursuant to Section 160 (3) No. 1 of the ARC, the candidate/bidder must give notice of any infringements of the contract within 10 days of becoming aware of them. (2) Pursuant to Section 160 (3) No. 2 of the ARC, violations of procurement regulations which are identifiable on the basis of the notice shall be notified to the contracting authority no later than the expiry of the period for submission of applications or bids specified in the notice. (3) Pursuant to Section 160 (3) No. 3 of the ARC, violations of procurement regulations which are only apparent in the award documents must be notified to the contracting authority no later than the expiry of the deadline for submitting applications or bids. (4) Pursuant to Section 160 (3) No. 4 of the ARC, an application for review of a contract award must be filed with the Public Procurement Tribunal within 15 calendar days of the contracting authority's notification that it does not intend to remedy a complaint.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Registrierungsnummer: 10342
Postanschrift: Am Wolfsmantel 33
Stadt: Erlangen
Postleitzahl: 91058
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de
Telefon: +49 91317762230
Internetadresse: https://www.deutsche-evergabe.de
Profil des Erwerbers: https://www.deutsche-evergabe.de
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: d4c79dc7-632f-41a4-9518-1d057c2a3513
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 116
Stadt: 53113
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6  -  01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 28/10/2025 13:42:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 713142-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 208/2025
Datum der Veröffentlichung: 29/10/2025