Beschreibung der Beschaffung
System, das geeignet ist für:
— die Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD) von Silizium, Siliziumoxid oder Siliziumnitrid,
— die thermische Oxidation von Silizium über eine Trockenoxidation oder H2-O2-Verbrennung,
— Temper-Schritte in Stickstoff oder Formiergas.
Kurzbezeichnung dieses Systems: Zwei-Stock-Ofen.