Verhandlungsverfahren bedingt durch nachfolgend Alleinstellungsmerkmal
Im Einzelnen zeichnet sich das Laser-Lithografiegerät „DWL66+“ der Fa. Heidelberg Instruments Mikrotechnik
GmbH durch folgende Alleinstellungsmerkmale aus:
1. Die hohe Laserleistung ermöglicht hohe Schreibgeschwindigkeiten.
2. Zwei unabhängige Autofokussystem stehen zur Verfügung, die ein zuverlässiges und reproduzierbares
Fokussierung unabhängig von den optischen Eigenschaften der verwendeten Fotolacke und Substrate
gewährleisten.
3. Das eingebaute Kamerasystem ermöglicht die Ausrichtung des Substrates anhand von Markierungen mit
einer Genauigkeit von 100nm.
4. Im hochauflösenden Modus „HiRes“ steht zur Adressierung von Strukturen ein Rastergitter von 5nm zur
Verfügung.