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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1) - PR878911-2480-P
Beschreibung: Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1)
Kennung des Verfahrens: da80b8c5-97e5-4e60-af2d-b0cf3afbacb8
Interne Kennung: PR878911-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1) - PR878911-2480-P
Beschreibung: 1 Inline 300 mm full wafer XRR Ein Röntgendiffraktometer, das für die Analyse von 300mm-Vollwafer Halbleiterproben in vollständiger Reinraumumgebung geeignet ist. Das Röntgendiffrarkometer ist für den Reinraumbetrieb im Halbleiterbereich für Beugungsmessung (XRD), Beugungsmessung unter streifenden Einfall (GIXRD), Reflektometriemessungen (XRR), Weitwinkel-XRD (WAXRD) für Textur- und Stressmessungen, Hochauflösende Beugungsmessung (HRXRD) und Reziprokes Space Mapping (RSM) auf Wafern mit Durchmesser 300 mm und 200 mm, mit einem vollautomatischen Loadport und allen notwendigen Subssystemen (z.B. Kühler). Details sind in den Vergabeunterlagen zu finden. Optionale Leistungspositionen: 21.1 Loadport Bitte bieten Sie einen zweiten Loadport an, wenn nicht schon als Ausführung der Anlage vorhanden. "Bitte als Option angeben. Bei einem zweiten angebotenen Loadport, wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 21.2 In plane Detektor Bitte bieten Sie einen In-plane-Detektor mit an, welcher für die im Leistungsverzeichnis geforderte Anlage kompatible ist. "Bitte als Option angeben und bitte angeben ob auch zu einem späteren Zeitpunkt nachrüstbar! Bei angebotenen Detektor wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben" 21.3 1D Detektor Bitte bieten Sie einen 1D-Detektor mit an, welcher für die im Leistungsverzeichnis geforderte Anlage kompatible ist. "Bitte als Option angeben und bitte angeben ob auch zu einem späteren Zeitpunkt nachrüstbar! Bei angebotenen Detektor wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben" 21.4 Korngrößen / Mikrodehnung Wenn nicht schon im Hauptangebot mit inbegriffen, bieten Sie bitte eine mit der geforderten Anlage kompatiblen Software an, mit der Korngrößen & Mikrodehnungen berechnet werden können. "Bitte als Option angeben. Bei angebotener Software wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 21.5 Verlängerte Gewährleistung Bitte bieten Sie eine Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate an. "Bitte als Option angeben. Bei angebotener Verlängerung der Gwährleistung wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben."
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Lieferzeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Rigaku Europe SE
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 07/10/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Rigaku Europe SE
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE272109612
Postanschrift: Hugenottenallee 167
Stadt: 63263 Neu-Isenburg
Postleitzahl: 63263
Land, Gliederung (NUTS): Offenbach, Landkreis (DE71C)
Land: Deutschland
Telefon: +49 61027799951
Fax: +49 61027799999
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ed65bf44-46a2-4e7a-8404-200f1c38c427 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 11/11/2025 15:20:38 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 751635-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 219/2025
Datum der Veröffentlichung: 13/11/2025