223/2025

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: CNRS Délégation Paris-Centre

Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts

Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2.1.

Verfahren

Titel: Acquisition, livraison et mise en service d’un bâti de gravure plasma au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)

Beschreibung: L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.

Kennung des Verfahrens: f0dae220-13d4-424c-87c8-3c65d41fa4b5

Vorherige Bekanntmachung: 491843-2025

Interne Kennung: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP

Verfahrensart: Offenes Verfahren

Das Verfahren wird beschleunigt: nein

Zentrale Elemente des Verfahrens: Article R2142-1 : Les conditions de participation à la procédure de passation relatives aux capacités du candidat mentionnées à l'article L. 2142-1, ainsi que les moyens de preuve acceptables, sont indiqués par l'acheteur dans les documents de la consultation.

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2.

Erfüllungsort

Postanschrift: UMR7588 - Institut des NanoSciences de Paris (INSP), Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie, 4, Place de Jussieu

Stadt: Paris

Postleitzahl: 75005

Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101)

Land: Frankreich

Zusätzliche Informationen: « Aucune caution, ni garantie ne sont exigées Financement sur le budget de l’établissement. Prix ferme pour la prestation. Paiement à 30 jours conformément à l'article R.2192-10 du code de la commande publique. Une avance pourra être versée au titulaire conformément à l’article R.2191-3 du code de la commande publique. Son montant sera égal à 30% du montant TTC du marché. Paiement après service fait . Les candidats peuvent présenter leur offre sous forme de groupement conjoint ou solidaire, conformément aux dispositions des articles R2142-19 et R2142-20 du code de la commande publique.

2.1.3.

Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt.: 530 000,00 EUR

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen: La consultation prévoit la présentation et le chiffrage de 3 prestations supplémentaires éventuelles obligatoires.

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

5.1.

Los: LOT-0001

Titel: Acquisition, livraison et mise en service d’un équipement de gravure plasma de type ICP-RIE au sein de l’Institut des NanoSciences de Paris (INSP)

Beschreibung: L’Institut des NanoSciences de Paris (INSP) est une unité mixte de recherche du CNRS et de Sorbonne Université. Dans le cadre de ses activités de micro-nanofabrication de dispositifs et de composants, l’INSP souhaite acquérir un bâti de gravure plasma. Les principaux besoins auxquels devra répondre l’équipement sont les suivants: •Gravure de silicium de plusieurs dizaines de micromètres •Gravure profonde de Silicium de plus de 100 µm •Gravure d’oxydes (SiO2, TiO2) plusieurs micromètres •Gravure de métaux <100 nm L’équipement attendu est une machine de gravure par plasma de type RIE-ICP (Reactive Ion Etching – Inductively Coupled Plasma) constitué de deux électrodes qui génèrent un plasma uniforme de haute densité à partir d’une source inductive, et d’une cathode indépendante pour polariser les substrats. L’équipement devra comporter un module de gravure profonde du silicium et un système de détection de fin d’attaque par interférométrie laser. Le présent marché comprend à minima : • L’acquisition • Performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’instrument • La livraison assurée par le titulaire • L’installation et la mise en service • La formation aux utilisateurs • La garantie contractuelle et support associé Les performances techniques et fonctionnelles minimales attendues de l’équipement sont précisées aux documents de la consultation.

Interne Kennung: 2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2.

Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101)

Land: Frankreich

5.1.3.

Geschätzte Dauer

Laufzeit: 12 Monate

5.1.5.

Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt.: 530 000,00 EUR

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja

Zusätzliche Informationen: Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=Entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&id=2822143&orgAcronyme=f2h. Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée. Le candidat peut transmettre au CNRS une copie de sauvegarde physique avec la mention suivante « Copie de sauvegarde - NE PAS OUVRIR » Procédure n°2025_AOO_Equipement_ICP-RIE_INSP et à l'adresse suivante : CNRS Délégation Paris-Centre - SFC – Pôle Achats -16, rue Pierre et Marie Curie - 75005 PARIS

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Qualität

Bezeichnung: Critère n°1 : Valeur technique

Beschreibung: Critère n°1 : Valeur technique et ses 5 sous-critères Sous-critère n° 1 : Garanties apportées en termes de qualité des matériaux et des éléments constituants l’équipement RIE-ICP 15 points, Sous-critère n°2 : Garanties apportées en termes de qualité du système de pompage 5 points, Sous-critère n° 3 : Garanties apportées en termes de performances de gravure (vitesse de gravure, uniformité, rugosité des flancs et du fond de gravure) 10 points, Sous-critère n° 4 Garanties apportées en termes d’adaptation pour une utilisation sur une plateforme académique (IHM, versatilité, évolutivité, …) 15 points, Sous-critère n° 5 Garantie et Qualité du SAV 10 points.

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 55

Kriterium:

Art: Kosten

Bezeichnung: Critère n°2 : Prix

Beschreibung: Prix

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 30

Kriterium:

Art: Qualität

Bezeichnung: Critère n°3 : Délai d'exécution

Beschreibung: Délai d'exécution

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 5

Kriterium:

Art: Qualität

Bezeichnung: Critère n°4: Démarche environnementale

Beschreibung: Critère n°4 : Démarche environnementale et ses 2 sous-critères : Sous-critère 1: Puissance électrique consommée (en kW ou kVA) lorsque l’équipement est maintenu sous vide 2 points, Sous critère 2 : Durée de disponibilité et de commercialisation des pièces détachées par rapport à la date d’acquisition du matériel (degré de réparabilité) 8 points.

Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)

Zuschlagskriterium — Zahl: 10

5.1.15.

Techniken

Rahmenvereinbarung:

Keine Rahmenvereinbarung

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:

Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16.

Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Schlichtungsstelle: CCIRA de Paris

Überprüfungsstelle: Tribunal Administratif de Paris

Informationen über die Überprüfungsfristen: « Précisions concernant les recours susceptibles d'être introduits à l'encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d'introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat ». ----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- Le présent avis d'attribution correspond à l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la jurisprudence du Conseil d’État (Conseil d'État, Assemblée, Département du Tarn et Garonne, 04/04/2014,n°358994). Le contrat sera consultable dans le respect des secrets protégés par les dispositions du livre III du code des relations entre le public et l’administration, sur place à l'adresse indiquée à la rubrique 1.1, après une demande écrite adressée par mail ou courrier au Pôle Achats du Service Financier et Comptable de la délégation Paris-Centre, et uniquement sur prise de rendez vous du lundi au vendredi de 9:30 à 11:30 et de 14:30 à 16:00, hors jours fériés et jours de fermeture du site. »

Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Tribunal Administratif de Paris

Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: CNRS Délégation Paris-Centre

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 611 830,00 EUR

6.1.

Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001

Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2.

Informationen über die Gewinner

Wettbewerbsgewinner:

Offizielle Bezeichnung: PLASMA THERM EUROPE

Angebot:

Kennung des Angebots: Offre de PLASMA THERM EUROPE

Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001

Wert des Angebots: 613 830,00 EUR

Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: ja

Rangfolge des Angebots: 1

Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein

Vergabe von Unteraufträgen: Nein

Informationen zum Auftrag:

Kennung des Auftrags: 2030638

Datum der Auswahl des Gewinners: 22/10/2025

Datum des Vertragsabschlusses: 14/11/2025

Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: CNRS Délégation Paris-Centre

6.1.4.

Statistische Informationen

Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:

Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote

Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2

8.1.

ORG-0001

Offizielle Bezeichnung: CNRS Délégation Paris-Centre

Registrierungsnummer: 18008901303282

Postanschrift: 16 rue Pierre et Marie Curie

Stadt: Paris

Postleitzahl: 75005

Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101)

Land: Frankreich

Kontaktperson: Pôle Achats

E-Mail: marchesdr2@dr2.cnrs.fr

Telefon: +33 142349400

Internetadresse: http://www.cnrs.fr

Profil des Erwerbers: https://www.marches-publics.gouv.fr

Rollen dieser Organisation:

Beschaffer

Organisation, die den Auftrag unterzeichnet

8.1.

ORG-0002

Offizielle Bezeichnung: Tribunal Administratif de Paris

Registrierungsnummer: 177 500 055 00013

Postanschrift: 7 rue de Jouy

Stadt: PARIS CEDEX 04

Postleitzahl: 75181

Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101)

Land: Frankreich

E-Mail: greffe.ta-paris@juradm.fr

Telefon: +33 144594400

Fax: +33 144594646

Internetadresse: http://paris.tribunal-administratif.fr/

Rollen dieser Organisation:

Überprüfungsstelle

Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1.

ORG-0003

Offizielle Bezeichnung: CCIRA de Paris

Registrierungsnummer: 17750000600024

Postanschrift: Préfecture de la région Île-de-France - Préfecture de Paris Direction des affaires juridiques 5, rue Leblanc

Stadt: PARIS Cedex 15

Postleitzahl: 75911

Land, Gliederung (NUTS): Paris (FR101)

Land: Frankreich

E-Mail: ccira@paris-idf.gouv.fr

Rollen dieser Organisation:

Schlichtungsstelle

8.1.

ORG-0007

Offizielle Bezeichnung: PLASMA THERM EUROPE

Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen

Registrierungsnummer: 45341369200030

Postanschrift: 266 chemin des Franques

Stadt: BERNIN

Postleitzahl: 38190

Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)

Land: Frankreich

E-Mail: contact@corial.com

Telefon: 04 76 01 10 10

Rollen dieser Organisation:

Bieter

Gewinner dieser Lose: LOT-0001

8.1.

ORG-0000

Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union

Registrierungsnummer: PUBL

Stadt: Luxembourg

Postleitzahl: 2417

Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)

Land: Luxemburg

E-Mail: ted@publications.europa.eu

Telefon: +352 29291

Internetadresse: https://op.europa.eu

Rollen dieser Organisation:

TED eSender

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: b7adb83f-f778-424d-a59f-10c86f4530c6 - 01

Formulartyp: Ergebnis

Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung

Unterart der Bekanntmachung: 29

Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 18/11/2025 11:12:57 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT

Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Französisch

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 767196-2025

ABl. S – Nummer der Ausgabe: 223/2025

Datum der Veröffentlichung: 19/11/2025