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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Ionenimplantationsanlage - PR468166-2790-W
Beschreibung: Ionenimplantationsanlage
Kennung des Verfahrens: 6ebab298-08ca-4eed-a832-9c0c12c256d1
Vorherige Bekanntmachung: 539666-2023
Interne Kennung: PR468166-2790-W
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen-Höchstadt (DE257)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Ionenimplantationsanlage - PR468166-2790-W
Beschreibung: 1 Stück Ionenimplantationsanlage Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 µA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen. Die Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen. Zusätzlich soll die Anlage ein Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometer (TOF-SIMS) besitzen. Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich. Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen. Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem: - Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas - Flood Gun zur Ladungskompensation - Sekundärelektronendetektoren - Zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) (optional) - Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional) - Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional) Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst. Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen-Höchstadt (DE257)
Land: Deutschland
5.1.4.
Verlängerung
Weitere Informationen zur Verlängerung: Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: TEchnische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 55
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Nachhaltigkeit
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender: Beschaffungsamt des BMI
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Leiter der anbietenden Partei: TESCAN GmbH
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon: 08912050
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: 08912050
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: TESCAN GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE124904551
Postanschrift: Zum Lonnenhohl 46
Stadt: Dortmund
Postleitzahl: 44319
Land, Gliederung (NUTS): Dortmund, Kreisfreie Stadt (DEA52)
Land: Deutschland
Telefon: +49 23192736010
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Leiter der anbietenden Partei
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 7cf4ac63-c109-47a0-8124-b631608ca838 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 21/12/2023 13:09:40 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 783935-2023
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 247/2023
Datum der Veröffentlichung: 22/12/2023