1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Silicon Austria Labs GmbH
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Silicon Austria Labs –Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Beschreibung: The aim of the procurement procedure was to commission the best bidder identified in the course of the procurement procedure to supply and install a deep ultraviolet (DUV) KrF-based exposure stepper (hereinafter referred to as “stepper”) for Silicon Austria Labs GmbH.
Kennung des Verfahrens: da4327ff-af8f-4d61-bd65-c0dfc801dacc
Interne Kennung: 1
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Europastrasse 12
Stadt: Villach
Postleitzahl: 9524
Land, Gliederung (NUTS): Klagenfurt-Villach (AT211)
Land: Österreich
Zusätzliche Informationen: Cleanroom
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 5 499 039,22 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: It is noted that the “value excluding VAT” („Wert ohne MwSt.“) stated under “Estimated value of the award procedure and maximum value of the framework agreement” („Schätzwert des Vergabeverfahrens und Höchstwert der Rahmenvereinbarung“) is based on the price of the device including delivery, installation, commissioning, training, and a one-year warranty (this warranty begins in accordance with the supply contract upon actual acceptance). The values of the offer stated below are in EUR. Billing will be carried out in Japanese yen (JPY). The exact euro amount cannot yet be determined, as the actual payment date—and thus the applicable exchange rate—remains unknown. For the purposes of this form, the exchange rate specified in Section 4.1 – Chapter E for the comparability of the final offers is therefore applied. The exchange rate relevant for conversion is the rate published on the day before the deadline for final offers (24 October 2025). The exchange rate published on 23 October 2025, and thus used here, is 176.94 according to the Euro Foreign Exchange Reference Rates. Based on this rate, the resulting amount is EUR 5,499,039.22. For technical reasons, it is not possible to specify the JPY value in the form. It is further noted that any consideration of potential future value adjustments is not possible at this time.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-6777
Titel: Silicon Austria Labs –Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Beschreibung: The aim of the procurement procedure was to commission the best bidder identified in the course of the procurement procedure to supply and install a deep ultraviolet (DUV) KrF-based exposure stepper (hereinafter referred to as “stepper”) for Silicon Austria Labs GmbH.
Interne Kennung: 1
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen:
Beschreibung der Optionen: Siehe Ausschreibungsunterlagen
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Europastraße 12
Stadt: Villach
Postleitzahl: 9524
Land, Gliederung (NUTS): Graz (AT221)
Land: Österreich
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 31/10/2025
Laufzeit: 21 Monate
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 5 499 039,22 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: The information provided under the section “Duration of the Contract, the Framework Agreement, or the Dynamic Purchasing System” ("Laufzeit des Vertrages, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems") was entered solely because it is a mandatory field. The indicated duration is based on the contractually stipulated delivery period (18 months) and acceptance period (3 months). However, it cannot be ruled out that the actual duration may be longer, particularly in the event of delivery delays. Under the section “Information on European Union Funds” (“"Angaben zu Mitteln der Europäischen Union"), it is noted that the project is funded by the FFG and the European Union. Link to the project: (https://www.ffg.at/FuE-Infrastrukturfoerderung_2023). The project number is: FO999912184.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Delivery and installation time
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 30
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Warranty of functionality period
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Price of the Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundesverwaltungsgericht
Informationen über die Überprüfungsfristen: See § 343 BVergG 2018 and following.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 5 499 039,22 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-6777
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Canon Europa N.V
Angebot:
Kennung des Angebots: Silicon Austria Labs - Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-6777
Wert des Angebots: 5 499 039,22 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Silicon Austria Labs - Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Titel: Supply Contract
Datum des Vertragsabschlusses: 31/10/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-1745
Offizielle Bezeichnung: Silicon Austria Labs GmbH
Registrierungsnummer: 9110023950495
Postanschrift: Sandgasse 34
Stadt: Graz
Postleitzahl: 8010
Land, Gliederung (NUTS): Graz (AT221)
Land: Österreich
Kontaktperson: Schramm Öhler Rechtsanwälte GmbH, zH RA Mag. Christian Gruber / RA Mag. David Melingo, Bartensteingasse 2, 1010 Wien
Telefon: +43 14097609
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-2420
Offizielle Bezeichnung: Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer: 9110008059823
Postanschrift: Erdbergstraße 192-196
Stadt: Wien
Postleitzahl: 1030
Land, Gliederung (NUTS): Wien (AT130)
Land: Österreich
Telefon: +43 160149
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-3572
Offizielle Bezeichnung: Canon Europa N.V
Registrierungsnummer: 9110005515087
Postanschrift: Bovenkerkerweg 59
Stadt: Amstelveen
Postleitzahl: 1185 XB
Land, Gliederung (NUTS): Groot-Amsterdam (NL329)
Land: Niederlande
Telefon: +31 20 545 8545
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-6777
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 163a1278-7625-4fca-b6a2-384f05be9f37 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/12/2025 11:51:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 797718-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 232/2025
Datum der Veröffentlichung: 02/12/2025