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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 ) - PR876527-2690-P
Beschreibung: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 )
Kennung des Verfahrens: 6ac00ae5-0c9c-4407-b883-2638f9aede96
Interne Kennung: PR876527-2690-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Los 1: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1)
Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung ausbauen, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Fraunhofer IMWS verfügt über umfassende Erfahrung in der Anwendung und Entwicklung zerstörungsfreier thermischer Defektlokalisierungsverfahren für die Fehleranalyse, insbesondere bei Halbleitern für die Automobilelektronik, wo präzise zerstörungsfreie Prüfungen unerlässlich sind. Dank seiner langjährigen Erfahrung in der Entwicklung von Lock-in-Thermografieverfahren (LIT) und der Entwicklung fortschrittlicher Methoden zur Signalverarbeitung hat das Fraunhofer IMWS die Grenzen der LIT-Technologie kontinuierlich erweitert, um Auflösung und Empfindlichkeit zu verbessern, insbesondere für 2,5D-/3D-Bildgebung und moderne Verpackungsanwendungen. Um die Fehlerlokalisierungsmöglichkeiten bei 3D-Bauelementen und IC-Stacks weiter zu verbessern, ist die Integration eines kombinierten Lock-In-Thermografie- (LIT) und OBIRCH-Messsystems (Optical Beam Induced Resistance Change) geplant. Dies ermöglicht eine präzise Fehlerlokalisierung von Defekten mit thermischer Emission und zusätzlich die Lokalisierung von Fehlern ohne ausreichende thermische Emission, aber mit elektrischer Empfindlichkeit während einer optischen Anregung. Das System soll für die Entwicklung eigener Anwendungen zur erweiterten Signalverarbeitung der Messwerte offen sein, um die Empfindlichkeit und Auflösung bei 3D- und gestapelten Bauelementen zu verbessern. Diese Ausschreibung umfasst die Lieferung eines kombinierten LIT- und OBIRCH-Messsystems, einschließlich optionaler Funktionen, Software-Support, Dokumentation, Lieferung, Abnahmeprüfung und Garantie.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 14 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Anforderungen
Beschreibung: technische Anforderungen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
5.1.
Los: LOT-0002
Titel: Los 2: SEM Scanning Electron Microscope (IMWS-3.1)
Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung erweitern, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Elektronenstrahl-Prober-System wird für die elektrische Fehlerisolierung moderner integrierter Schaltungen (unter 20 nm-Knoten) benötigt, ähnlich wie laserbasierte Prüfverfahren mit hochfrequenter aktiver Spannungskontrastdetektion mit nm-Auflösung. Die Hauptanwendung ist die Prüfung elektrischer Signale auf Transistorebene und das Auslesen logischer Zustände in IC-Strukturen und flüchtigen Speicherarrays, um Funktionsfehler zu identifizieren und Belastbarkeitstests gesicherter IC-Funktionen durchzuführen. Ein komplettes funktionsfähiges Elektronenstrahl-Prober-System soll inklusive Montage, Inbetriebnahme und allen notwendigen Anschlüssen, Teilen und Zulassungen/Zertifizierungen für den Betrieb angeboten werden. Die Komponenten und spezifischen Anforderungen sind unten aufgeführt.
Interne Kennung: LOT-0002
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 13 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Anforderungen
Beschreibung: technische Anforderungen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Hamamatsu Photonics Deutschland GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 27/11/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0002
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: point electronic GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0002
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0002
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Dienstleistungen im Bereich Forschung und Entwicklung (FuE)
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0002
Datum des Vertragsabschlusses: 27/11/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 3
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Hamamatsu Photonics Deutschland GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE 128 228 814
Postanschrift: Arzbergerstr. 10
Stadt: Herrsching
Postleitzahl: 82211
Land, Gliederung (NUTS): Starnberg (DE21L)
Land: Deutschland
Telefon: 08152375216
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: point electronic GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE153719985
Postanschrift: Erich-Neuss-Weg 15
Stadt: Halle (Saale)
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
Telefon: 03451201190
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0002
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: a4014900-78bb-46c1-9dc4-6f47bcc021f3 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 04/12/2025 18:30:06 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 812312-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 236/2025
Datum der Veröffentlichung: 08/12/2025