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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Bergakademie Freiberg
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-System
Beschreibung: Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-System eLINE Plus
Kennung des Verfahrens: ab80b9cc-b4ff-4fc5-9371-a6c0b96a240b
Vorherige Bekanntmachung: 802707-2025
Interne Kennung: 2821-25
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Freiberg
Postleitzahl: 09599
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-System
Beschreibung: Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-System eLINE Plus
Interne Kennung: 2821-25
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Freiberg
Postleitzahl: 09599
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Enddatum der Laufzeit: 30/09/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 802707-2025
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis 100% bei Erfüllung aller Ausschlusskriterien
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein (§160 Abs. 1 GWB). Der Nachprüfantrag ist gemäß §160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit: 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 176 470,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Alleinstellung aufgrund technischer Anforderungen: kleinste EBLschreibbare Strukturgrößen von 5-8 nm Linienbreite; Möglichkeit zum EBL-Schreiben von millimeterlangen Linien und ähnlichen Strukturen ohne Versatz an den Schreibfeldgrenzen; EBID System zum direkten Schreiben metallischer Kontakte mit kleinsten Linienbreiten von ca. 10 nm; Aufnahme von Proben (Wafer) bis 50 mm Durchmesser, sowie die Option durch verfügbare Baugruppen den maximalen Waferdurchmesser auf 100 bzw. 150 mm zu erweitern; Positionsauflösung des Wafers in der x-y-Ebene mit Genauigkeit von 1 nm; die Elektronensäule muss in der Lage sein auch <1 kV zur Verfügung zu stellen; Everhard-Thornley-Sekundärelektronen-Detektor, hochauflösender und kontrastreicher in-lens-Sekundärelektronen-Detektor und Rückstreu-Elektronen-Detektor; EDX-Röntgenspektrometer mit Silicon Drift Detectorund Peltierkühlung (kein Flüssigstickstoff); 2 Nanomanipulatoren, um mit <5 nm Ortsauflösung und Steuerung im kartesischen Koordinatensystem (kein Kugelkoordinatensystem) ultrafeine Metallnadeln in-situ für elektrische Messungen oder die Manipulation von nm großen Objekten zu verwenden
Kennung des vorherigen Verfahrens, das die Direktvergabe rechtfertigt: 802707-2025
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: RAITH GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 11005250
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: 1 176 470,00 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 2821-25
Datum des Vertragsabschlusses: 15/12/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Bergakademie Freiberg
Registrierungsnummer: DE141136178
Postanschrift: Akademiestraße 6
Stadt: Freiberg
Postleitzahl: 09599
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Zentrale Beschaffung
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Postfach 10 13 64
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Telefon: +49341 9773800
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: RAITH GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE124727617
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Stadt: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land, Gliederung (NUTS): Dortmund, Kreisfreie Stadt (DEA52)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Offizielle Bezeichnung: RAITH GmbH
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Stadt: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land, Gliederung (NUTS): Dortmund, Kreisfreie Stadt (DEA52)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d310e5bd-57c2-43b7-b130-cc2d47080411 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 16/12/2025 11:48:12 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 839909-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 243/2025
Datum der Veröffentlichung: 17/12/2025