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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4) - PR863933-2480-P
Beschreibung: Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4)
Kennung des Verfahrens: 2edf4642-1aa6-4e15-a225-d6373ec29e32
Interne Kennung: PR863933-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4) - PR863933-2480-P
Beschreibung: 1 Stück Analytic-Prober Automatisierter Wafer Prober für elektro-optische Tests. Dieser "Analytic Prober" wird für die Kontaktierung (Sondierung) von MEMS- und OLED-Halbleiterwafern und nackten Dies (z.B. QMI - Chiplets) in einem CMOS-kompatiblen Reinraum gemäß Klasse 4 EN ISO 14644-1 Produktionsumgebung eingesetzt. Er muss genügend Freiraum über dem kontaktierten DUT bieten, um dort mehrere optische Messgeräte präzise und dauerhaft zu platzieren. Optionale Leistungspositionen: 1.5 Allgemeine Werkzeugbeschreibung Es wurden geeignete Maßnahmen getroffen, um eine elektrostatische Aufladung der Prüflinge zu verhindern. JA 2.1.3 Wafer Chuck Austauschbare Oberflächenerweiterung JA 2.1.17 Wafer Chuck Optional: Elektrische Entladung des Chucks: Eine Vorrichtung, die den Chuck automatisch vor und während des Ladens von Wafern vorübergehend entlädt JA 2.1.27 Wafer Chuck (Wafer-Futter) Optional: Für die X-Y-Theta-Ausrichtung sind alternative (zusätzliche) benutzerdefinierte Ziele möglich, falls das erste Ziel auf dem DUT fehlt. JA 2.2.15 Probing, Probe Card, Probe Cleaning Optional: automatische Probe Mark Inspection - unter Verwendung der oben erwähnten Top-Down-Kamera auf dem aktuell geladenen DUT YES 2.3.1.3 automatisch geladene 200mm-Wafer Optional: 200mm-Wafer können eine Kerbe an einer transparenten Waferkante aufweisen (z.B. ein durchmesserreduzierter CMOS-Wafer wird auf einen 200mm-Glaswafer mit einer Kerbe an der Glaskante gebondet). Bitte beachten Sie Abbildung 6. JA 2.3.1.7 automatisch geladene 200mm-Wafer "Optional: erweiterte min. mögliche Dicke für automatisch geladene 200mm-Wafer ist ≤ 400µm " JA 2.3.1.8 automatisch geladene 200mm-Wafer "Optional: erweiterte max. mögliche Dicke für automatisch geladene 200mm-Wafer ist ≥2000µm " JA 2.3.2.1 automatisch geladene 300mm Wafer Optional: 300mm FOSB (front opening shipping box) kann gehandhabt werden JA 2.3.2.2 automatisch geladene 300mm-Wafer Optional: 300mm FOUP (front opening unified pod) kann gehandhabt werden JA 2.3.2.8 automatisch geladene 300mm-Wafer Optional: erweiterte min. mögliche Dicke für automatisch geladene 300mm-Wafer ist ≤ 400µm JA 2.3.2.9 automatisch bestückte 300mm-Wafer Optional: erweiterte max. mögliche Dicke für automatisch bestückte 300mm-Wafer ist ≥ 2000µm JA 2.4.4.4 manuell bestückte Pocket-Wafer Optional: Die auf dem Pocket Wafer montierten Einzelchips werden automatisch X/Y/Theta-ausgerichtet und Z-profiliert (Chip-Alignment). Die Chips werden in einem festen X/Y-Raster (Toleranz ca. ±100µm) mit gleicher Z-Höhe angeordnet. Dieses Raster ist so konfiguriert, dass jeder Chip von mindestens einer Vakuumbohrung bedient wird. In Bezug auf die Ausrichtung der Chips ist diese Anordnung vergleichbar mit einem gewürfelten Wafer auf einem Sägerahmen. YES 7.1 Erweiterte Garantie Eine erweiterte Garantie von weiteren 24 Monaten sollte angeboten werden. Während der Garantiezeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. YES
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 21/11/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE 208 120 126
Postanschrift: Heilbronner Straße 17
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01189
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: be4a9e85-fc71-4970-9836-fce0aaa5cf0b - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 16/12/2025 15:50:12 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 841595-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 244/2025
Datum der Veröffentlichung: 18/12/2025