89916-2021 - ErgebnisDeutschland-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
OJ S 36/2021 22/02/2021
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Postanschrift: Hansastraße 27 c
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Einkauf IT, FM, Leasing, Beraterverträge
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Trockenätzanlage
Referenznummer der Bekanntmachung: E_134_256438 ksp-KauAnj
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Trockenätzanlage.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DED41 Chemnitz, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung: ENAS Technologie-Campus 3 09126 Chemnitz
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück reaktives Ionenätzwerkzeug (RIE) für Dielektrika und Metalle
Optional: Die Kontaktpunkte aller Werkzeugteile, die die Waferrückseite berühren, müssen eine Kontaktfläche von mehr als 14 mm2 haben, um ein Durchstechen aktiver Strukturen (z. B. Membranen) auf der Waferrückseite zu vermeiden, und sollten eine der in Anhang 6.1 beschriebenen Optionen sein.
Bitte geben Sie eine Skizze aller tatsächlichen Kontaktpunkte des angegebenen Werkzeugs an. Im Mainframe sollte es zusätzlich möglich sein, auch vollständig transparente Wafer auszurichten und auszurichten.Wenn eine solche Funktion angeboten werden kann, wird sie als Option aufgeführt.Für die Waferspezifikation – Verarbeitung von Quarzwafern gemäß den genannten Spezifikationen.
Bitte stellen Sie uns ein Angebot für alle in der folgenden Tabelle aufgeführten optionalen Funktionen, die fakultativ mit dem Gerät bestellt werden können,zur Verfügung:
1. Satz Verbrauchsmaterialteile (O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Garantiezeit,
2. SBC – Single Board Computer (neu, 2nd),
3. Transparent Wafer Orienter Kit - zum zuverlässigen Ausrichten von vollständig / halbtransparenten Wafern,
4. Fernbedienung für die Automatisierung der Betriebsautomatisierung Hochladen / Herunterladen, um Bedienungsfehler zu vermeiden (z. B. in Kombination mit einem Barcode-Leser),
5. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – Metal DPS R1,
6. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – ASP+,
7. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – eMxP+,
8. Ende der Garantieprüfung und -wartung (sollte bei Auswahl eines Wartungsvertrags berücksichtigt werden),
9. Wartungsvertrag für ein Jahr mit 1 Woche / 32 Stunden einmal im Monat,
10. Instandhaltungsschulung nach Fraunhofer ENAS bewertet Anforderungen 4 Wochen für maximal 4 Ingenieure (6 x 3 Tage vor Ort bei Fraunhofer ENAS), 11. Prozessschulung 2 Wochen für maximal 4 Ingenieure (vor Ort bei Fraunhofer ENAS),
12. Tier III Kundenprozessübertragung 2 Wochen Prozessunterstützung vor Ort,
13. Getrennte Temperaturregelung für eMxP + für Kathode und Wand im Bereich von 10 o C. - 45 oC.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Preis
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
Optional: Die Kontaktpunkte aller Werkzeugteile, die die Waferrückseite berühren, müssen eine Kontaktfläche von mehr als 14 mm2 haben, um ein Durchstechen aktiver Strukturen (z. B. Membranen) auf der Waferrückseite zu vermeiden, und sollten eine der in Anhang 6.1 beschriebenen Optionen sein.
Bitte geben Sie eine Skizze aller tatsächlichen Kontaktpunkte des angegebenen Werkzeugs an. Im Mainframe sollte es zusätzlich möglich sein, auch vollständig transparente Wafer auszurichten und auszurichten.Wenn eine solche Funktion angeboten werden kann, wird sie als Option aufgeführt.Für die Waferspezifikation – Verarbeitung von Quarzwafern gemäß den genannten Spezifikationen.
Bitte stellen Sie uns ein Angebot für alle in der folgenden Tabelle aufgeführten optionalen Funktionen, die fakultativ mit dem Gerät bestellt werden können,zur Verfügung:
1. Satz Verbrauchsmaterialteile (O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Garantiezeit,
2. SBC - Single Board Computer (neu, 2nd),
3. Transparent Wafer Orienter Kit – zum zuverlässigen Ausrichten von vollständig / halbtransparenten Wafern,
4. Fernbedienung für die Automatisierung der Betriebsautomatisierung Hochladen / Herunterladen, um Bedienungsfehler zu vermeiden (z. B. in Kombination mit einem Barcode-Leser),
5. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – Metal DPS R1,
6. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – ASP+,
7. Erweiterte Kammer für Ersatzprozess-Kits – eMxP+,
8. Ende der Garantieprüfung und -wartung (sollte bei Auswahl eines Wartungsvertrags berücksichtigt werden),
9. Wartungsvertrag für ein Jahr mit 1 Woche / 32 Stunden einmal im Monat,
10. Instandhaltungsschulung nach Fraunhofer ENAS bewertet Anforderungen 4 Wochen für maximal 4 Ingenieure (6 x 3 Tage vor Ort bei Fraunhofer ENAS), 11. Prozessschulung 2 Wochen für maximal 4 Ingenieure (vor Ort bei Fraunhofer ENAS),
12. Tier III Kundenprozessübertragung 2 Wochen Prozessunterstützung vor Ort,
13.Getrennte Temperaturregelung für eMxP + für Kathode und Wand im Bereich von 10 o C. - 45 oC.
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)
  • Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
    • nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Erläuterung:
Das benötigte Know-How zur den Ausrüstung von Centura 5200 Anlagen im Sinne von benötigten und zu verwendenden Materialien, Komponenten, sowie derer Handhabung und Integration gibt es nur bei der memsstar ltd. aus Schottland.
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1
Bezeichnung des Auftrags:
Trockenätzanlage
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
22/12/2020
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: memsstar Limited
Postanschrift: 1 Fleming Road Kirkton Campus
Ort: Livingston
NUTS-Code: UKM Scotland
Postleitzahl: EH54 7BN
Land: Vereinigtes Königreich
E-Mail: info@memsstar.com
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0,01 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
17/02/2021