1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München
Rechtsform des Erwerbers: Regionale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Waferprober
Beschreibung: Gegenstand der Anschaffung ist ein Wafer Prober für den elektrischen Test von Halbleiterwafern mit einer Größe von 150 mm bis 300 mm.
Kennung des Verfahrens: 44f69426-3e8b-42a8-bc0c-04367b9401c5
Interne Kennung: 051/2025
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0MHCP#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Waferprober
Beschreibung: Der Auftrag umfasst Lieferung, Installation und Inbetriebnahme laut Leistungsbeschreibung am Aufstellort in Garching bei München entsprechend den dargestellten Reinraum-Vorschriften. Ebenso ist eine Einweisung von Mitarbeitern Teil des Auftrags.
Interne Kennung: 051/2025
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 9 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus dem EU/EFTA Raum aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnummer). Maßstab für Vergleichbarkeit sind Wafergröße, Reinraumspezifikation, Positioniergenauigkeit und Eignung für Vertical Probe Cards.
Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung des Bieters, dass er eine Betriebshaftpflichtversicherung unterhält.
Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 19/02/2026 23:59:59 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 26/02/2026 08:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 8 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 26/02/2026 08:01:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Technische Universität München
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Technische Universität München
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München
Registrierungsnummer: 09-1512011-61
Postanschrift: Arcisstraße 21
Stadt: München
Postleitzahl: 80333
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: 08928912440
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: 09-0318006-60
Stadt: München
Postleitzahl: 80534
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
10. Änderung
10.1.
Änderung
Abschnittskennung: PROCEDURE
Beschreibung der Änderungen: 1. Seite 1, 3. Absatz: Ursprünglich: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 30 mm betragen. Neu: Die Wafer-Prober Platen (= Aufstellfläche der Mikromanipulatoren) muss über eine integrierte Luftkühlung verfügen und der Höhenunterschied zur Chuck-Oberfläche darf, wenn sich der Chuck in der höchsten Position befindet, maximal 45 mm betragen. 2. Seite 1, 5. Absatz: Ursprünglich: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und 152 mm (6 inch) muss möglich sein. Neu: Die Verwendung von Nadelkarten mit einer Breite von 114 mm (4,5 inch) und eine optionale Erweiterung auf 152 mm (6 inch) Nadelkarten muss möglich sein. 3. Seite 1, Automatisches Beladen: Ursprünglich: - Wafergröße: 150 mm, 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm Neu: - Wafergröße: zumindest 200 mm und 300 mm Durchmesser - Waferdicke: Standard Wafer mit einer Dicke von maximal 1 mm 4. Seite 1, Positionierung des Chucks: Ursprünglich: - X Verfahrbereich mind. 310 mm - Y Verfahrbereich mind. 501 mm - X/Y Auflösung: < 0.51 µm - X/Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 30 mm - Z Auflösung: < 0.51 µm Neu: - X Verfahrbereich mind. 300 mm - Y Verfahrbereich mind. 500 mm - X/Y Auflösung: < 0.7 µm - X/Y Genauigkeit: < 2 µm - Wiederholbarkeit: < 1 µm - XY Geschwindigkeit: verschieden wählbare Geschwindigkeiten von 10 µm/s bis - mindestens 30 mm/s - Z Verfahrbereich mindestens. 10 mm - Z Auflösung: < 0.7 µm 5. Seite 2, letzter Bullet-Point von "Positionierung des Chucks": Ursprünglich: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Wünschenswert wäre, dass bei der automatischen Beladung eine Vorausrichtung des Wafers und eine Erfassung der Wafer-Identifikationsnummer erfolgen können. Dies ist kein MUSS-Kriterium, muss aber später nachrüstbar sein. Neu: Bei Verwendung einer Waferablagevorrichtung müssen mindestens fünf Wafer eingelagert und jeweils ein Wafer automatisch geladen bzw. zurückgeführt werden können. Bei der automatischen Beladung muss eine Vorausrichtung des Wafers erfolgen können Die Angebotsfrist wurde verlängert bis zum 26.02.2026, 8.00 Uhr Die Frist für die Bieterfragen wurde verlängert bis zum 19.02.2026
Änderung der Auftragsunterlagen am: 06/02/2026
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d2658fa8-3481-43a5-b24f-f7c203673259 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 06/02/2026 13:54:17 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 90312-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 27/2026
Datum der Veröffentlichung: 09/02/2026