1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: ALD System (Dielectric + Metal) (IPMS-CNT06.1) - PR867745-2480-P
Beschreibung: ALD System (Dielectric + Metal) (IPMS-CNT06.1)
Kennung des Verfahrens: e0e22acd-aea8-440d-91b9-aecb72d964db
Interne Kennung: PR867745-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Korruption:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrugsbekämpfung:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Zahlungsunfähigkeit:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Entrichtung von Steuern:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Rein innerstaatliche Ausschlussgründe:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: ALD System (Dielectric + Metal) (IPMS-CNT06.1) - PR867745-2480-P
Beschreibung: 1 ALD-System bestehend aus 2 Kammern inkl. Mainframe. Mainframe/ 2 Kammern inkl. Mainframe Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen an eine Anlage zur Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verfahren auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Es wird vorausgesetzt, dass das Gerät kontinuierlich die vorgesehenen Funktionen in Übereinstimmung mit allen in dieser EPS spezifizierten Anforderungen ohne Fehlfunktionen oder Ausfälle ausführt. Darüber hinaus muss das Gerät mit allen nachfolgend beschriebenen Komponenten und Teilen geliefert werden, die notwendig sind, damit das Gerät die vorgesehenen Funktionen und Fähigkeiten in Übereinstimmung mit allen in dieser EPS festgelegten Anforderungen erfüllen kann. Optionale Leistungspositionen: 2.2.1.1.9 Basiskonfiguration Waferrotation in der Prozesskammer für bessere Homogenitätswerte vorhanden Ja/Nein (Ja ist besser bewertet) 2.2.1.1.10 Basiskonfiguration interne Lagerung von Dummywafern/Testwafern min. 10 Wafer, mehr werden höher bewertet 2.2.1.1.11 Grundkonfiguration Falls kein Speicher vorhanden, muss gewährleistet sein, dass verschiedene Wafertypen (Dummy, Test, Produkt) in einem Lauf von verschiedenen FOUPs/Loadports bearbeitet werden können (Parallelbetrieb) Ja/Nein 2.2.1.1.12 Grundkonfiguration Die Anlage ist mit einem Notch Aligner ausgestattet. Dieser verfügt über einen programmierbaren Kerbwinkel mit einer Genauigkeit von ≤0,5º für die Kerbe und ≤0,1mm für die Zentrierung Ja/Nein 2.2.1.1.13 Grundkonfiguration Cooling Station oder vergleichbare Option zur Waferkühlung (z.B. in Loadlock), dass der FOUP keine erwärmten Wafer sieht Ja/Nein 2.2.1.1.15 Basiskonfiguration Pre-Heat Station/ Pre-Heat-Chamber vorhanden Ja/Nein 2.2.1.2.5 Kassetten- und Waferspezifikation - Wafermaterial Handhabung von Quarz-Wafern Ja oder Nein 2.2.2.12 Kammer A (Oxidkammer) Option für weitere Prozessgase (z.B. NH3) min. NH3, mehr Gasanschlüsse sind besser geeignet 2.2.2.14 Kammer A (Oxidkammer) Option für parallele Bearbeitung von Wafern falls vorhanden bitte angeben, min. 2 Wafer 2.2.3.12 Kammer B (Metallnitridkammer) Option für weitere Prozessgase (z.B. O3 oder H2O), mehrere Gasanschlüsse sind höher bewertet 2.2.3.15 Kammer B (Metalnitrid-Kammer) Insitu-Reinigungsoption falls vorhanden bitte angeben 2.2.3.16 Kammer B (Metalnitrid-Kammer) Parallele Prozessoption für Wafer, falls verfügbar, bitte angeben, min. 2 Wafer 2.2.4.2 Pre-Heat-Kammer (optional) Substrat-Heizung Temperatur 400°C oder höher 2.2.4.4 Vorwärmekammer (optional) Wafer-Lagerung einer vollen Waferladung pro Kammer möglich Ja/Nein 2.2.4.5 Vorwärmekammer (optional) Prozessgas verfügbar (z. B. N2, O2), je mehr, desto besser 2.2.6.1 Subtools Pumpen sind im Angebot enthalten Ja/Nein, Typ Edwards 2.2.6.2 Unterwerkzeuge Kühler sind im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.6.3 Teilgeräte Ozonisator sind im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.6.4 Unterwerkzeuge Reiniger sind im Angebot enthalten Ja/Nein 2.2.12.2 Schnittstellengeräte Touchscreen bevorzugt Ja/Nein 3.1.3 Prozessübersicht Kammer B: BKM für thermische ALD von ZrN, HfN oder anderen Nitriden einschließlich Vorschlägen für Vorstufen Ja/Nein 4.1 Quelleninspektion Bitte bieten Sie eine Quelleninspektion an, falls vorhanden Ja/Nein 4.2.4 Installation Optionale Prozessgase für Kammer A NH3 4.2.6 Installation Optionale Prozessgase für Kammer B O3, O2, H2O, NF3 5.1.2 Anforderungspositionen, die angeboten werden sollen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, Ventile usw., Kammersätze) Ja/Nein 5.1.3 Anforderungspositionen, die angeboten werden sollen Offline-Rezepturverwaltungssystem Ja/Nein 5.1.4 Anforderungspositionen, die angeboten werden sollen Bitte bieten Sie verschiedene Serviceverträge mit unterschiedlichen Leistungen / Umfang / Konditionen an. Ja/Nein 5.1.5 Anforderungspositionen, die angeboten werden sollen Garantieverlängerung um ein weiteres Jahr. Ja/Nein
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 23 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Sonstiges
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 13/03/2025 10:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 2e9f188d-cd11-437e-ab6b-dd13ccf68939 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 10/02/2025 08:40:26 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 91054-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 29/2025
Datum der Veröffentlichung: 11/02/2025