92313-2025 - Wettbewerb
Deutschland – Halbleiter – Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05) - PR880078-3220-P
OJ S 29/2025 11/02/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung - Änderungsbekanntmachung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle BezeichnungFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
E-Maileinkauf@zv.fraunhofer.de
Rechtsform des ErwerbersÖffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen AuftraggebersAllgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
TitelOberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05) - PR880078-3220-P
BeschreibungOberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05)
Kennung des Verfahrens326e5860-81e0-45dc-a395-7ad46e20741a
Interne KennungPR880078-3220-P
VerfahrensartVerhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigtnein
2.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
2.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftEinsteinufer 37  
StadtBerlin
Postleitzahl10587
Land, Gliederung (NUTS)Berlin (DE300)
LandDeutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Rein innerstaatliche Ausschlussgründe
5. Los
5.1.
LosLOT-0000
TitelOberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05) - PR880078-3220-P
Beschreibung1 Stück Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern. Oberflächen Inspektionssystem zur schnellen Erkennung von Defekten auf epitaktischen (unstrukturierten) Wafern. Das System soll die Defekttypen Partikel, Kratzer, topgrafische Unebenheit (pits) und Flecken auf der Waferoberfläche erkennen, nach Größe und Typ klassifizieren und die laterale Position in einer Karte angeben können. Das Wafermaterial basiert auf InP- und GaAs-Substraten auf welches mit epitaktischen Verfahren (AlInGa)(AsP) Heterostrukturen gezüchtet wird. Die zu untersuchenden Wafer haben eine Dicke von 350 - 1000µm und eine Durchbiegung von bis zu 80µm. Die Anlage soll manuell beladen werden. Optionen: Servicevertrag 5 Jahre
Interne KennungLOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
5.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftEinsteinufer 37  
StadtBerlin
Postleitzahl10587
Land, Gliederung (NUTS)Berlin (DE300)
LandDeutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit9 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugebenNicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesenja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignetnein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen AuftragsvergabeKeine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Kriterium
ArtEignung zur Berufsausübung
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium
ArtWirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium
ArtTechnische und berufliche Leistungsfähigkeit
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium
ArtSonstiges
Beschreibung des EignungskriteriumsDirektlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-194cbb5b769-78f2a2ec64c01be
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium
ArtQualität
BezeichnungTechnische Ausführung
BeschreibungTechnische Ausführung
Kategorie des Gewicht-ZuschlagskriteriumsGewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl65
Kriterium
ArtPreis
BezeichnungPreis
BeschreibungPreis
Kategorie des Gewicht-ZuschlagskriteriumsGewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sindDeutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagenhttps://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-194cbb5b769-78f2a2ec64c01be&
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung
Elektronische EinreichungZulässig
Adresse für die Einreichunghttps://vergabe.fraunhofer.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden könnenDeutsch
Elektronischer KatalogNicht zulässig
VariantenNicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichenZulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge11/03/2025 12:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche InformationenSiehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgenNein
Bedingungen für die Ausführung des AuftragsBei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische RechnungsstellungZulässig
Aufträge werden elektronisch erteiltnein
Zahlungen werden elektronisch geleistetnein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
ÜberprüfungsstelleVergabekammern des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstelltFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstelltFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSenderDatenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle BezeichnungFraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
RegistrierungsnummerDE 129515865
PostanschriftHansastraße 27c
StadtMünchen
Postleitzahl80686
Land, Gliederung (NUTS)München, Kreisfreie Stadt (DE212)
LandDeutschland
KontaktpersonEinkauf Betrieb und Infrastruktur
E-Maileinkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon+49891205-0
Internetadressehttps://vergabe.fraunhofer.de/
Profil des Erwerbershttps://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/
Rollen dieser Organisation
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle BezeichnungVergabekammern des Bundes
Registrierungsnummert:022894990
PostanschriftKaiser-Friedrich-Straße 16
StadtBonn
Postleitzahl53113
Land, Gliederung (NUTS)Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
LandDeutschland
E-Mailvk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon+49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle BezeichnungFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
RegistrierungsnummerDE-129515865
PostanschriftHansastraße 27c
StadtMünchen
Postleitzahl80686
Land, Gliederung (NUTS)München, Kreisfreie Stadt (DE212)
LandDeutschland
E-Maileinkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon+49 89 1205-0
Internetadressehttps://www.fraunhofer.de
Rollen dieser Organisation
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle BezeichnungDatenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer0204:994-DOEVD-83
StadtBonn
Postleitzahl53119
Land, Gliederung (NUTS)Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
LandDeutschland
E-Mailnoreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon+49228996100
Rollen dieser Organisation
TED eSender
10. Änderung
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung1b758554-b3f2-4c3d-b8c0-241e22d98e63-01
Hauptgrund für die ÄnderungAktualisierte Informationen
BeschreibungÄnderung der Vergabetermine
10.1.
Änderung
AbschnittskennungLOT-0000
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachungfb6083f8-6b10-4d2b-9ed8-339dd92678f9  -  01
FormulartypWettbewerb
Art der BekanntmachungAuftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung10/02/2025 09:35:06 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar istDeutschEnglisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung92313-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe29/2025
Datum der Veröffentlichung11/02/2025