Award criteriaQuality criterion - Name: Sistemul poate fi controlat in presiune, pe langa modul obligatoriu „downstream”, si in modul suplimentar “upstream”, robinetul de separare catre pompe mentinandu-si o pozitie fixa, iar fluxurile de gaze introduse in descarcare vor fi controlate prin controler PID. / Weighting: 3
Quality criterion - Name: Asigurarea unei presiuni de baza de < 2x 10-7 mbar pentru sistemul complet echipat, fata de cerinta minima a caietului de sarcini, respectiv < 2x 10-6 mbar. / Weighting: 4
Quality criterion - Name: Extindere de garantie de 12 luni peste cea din cerintele minime de 12 luni. / Weighting: 5
Quality criterion - Name: Analizor de gaze rezidual (RGA) avand toate caracteristicile functionale minime specificate ce permite monitorizarea maselor pana la 200 amu, fata de cerinta minima a caietului de sarcini, respectiv 100 amu. / Weighting: 2
Quality criterion - Name: Subsistemul pentru controlul si monitorarea in timp real a grosimii filmelor depuse pe baza de microbalanta cu cristal de cuartz va fi prevazut cu sensori suplimentari capabili sa furnizeze informatii privind rata de depunere la nivelul substratului in cazul pulverizarii magnetron pentru pozitii laterale fata de cea centrala, respectiv la 6 cm si 9 cm fata de centru. / Weighting: 3
Quality criterion - Name: Sistemul poate fi prevazut cu o sursa suplimentara RF (13,56 MHz) cu cutie de adaptare automata, avand puterea maxima de cel putin 100 W, care sa asigure polarizare BIAS la substrat si posibilitatea de curatare prin aprinderea unei descarcari la nivelul substratului, functionand independent de sursele de alimentare ale magnetroanelor. / Weighting: 3
Quality criterion - Name: In afara de cele 4 magnetroane de 3” (cerinta obligatorie), sistemul de depunere va fi livrat cu alte 2 magnetroane circulare suplimentare cu tinta de diametru 2 inch, care se pot monta pe pozitiile a 2 dintre magnetroanele initale si se pot alinia (prin inclinare) in asa fel incat sa vizeze centrul substratului. / Weighting: 4
Quality criterion - Name: Suportul de substrat avand caracteristicile functionale minime precizate in caietul de sarcini va permite incalzirea substratului pana la 800 °C in mod controlat, fata de cerinta minima a caietului de sarcini, respectiv 600 oC, inclusiv in atmosfera de oxigen, fiind prevazut cu controler de temperatura tip PID. / Weighting: 1
Price - Weighting: 75