17-225223-00120170908DE From ConvertorS105201706022017/S 105-211030http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:211030-2017:TEXT:DE:HTMLDEwww.Hahn-Schickard.dewww.Hahn-Schickard.deMiscellaneous general and special-purpose machinerySchwarzwald-Baar-Kreis2017/S 051-09482820170531OtherContract award noticeSuppliesOpen procedureEuropean UnionNot applicableThe most economic tenderOther01203ГepмaнияVillingen-SchwenningenРазлични видове машини с общо и специално предназначениеNěmeckoVillingen-SchwenningenRůzná strojní zařízení pro všeobecné účely a speciální strojní zařízeníTysklandVillingen-SchwenningenDiverse maskiner til generelle og specielle formålDeutschlandVillingen-SchwenningenMaschinen für allgemeine und besondere ZweckeΓερμανίαVillingen-SchwenningenΔιάφορα μηχανήματα γενικής και ειδικής χρήσηςGermanyVillingen-SchwenningenMiscellaneous general and special-purpose machineryAlemaniaVillingen-SchwenningenMáquinas diversas para usos generales y especialesSaksamaaVillingen-SchwenningenMitmesugused üld- ja eriotstarbelised masinadSaksaVillingen-SchwenningenErilaiset yleis- ja erikoiskoneetAllemagneVillingen-SchwenningenMachines diverses à usage général et à usage spécialGhearmáin, anVillingen-SchwenningenMiscellaneous general and special-purpose machineryNjemačkaVillingen-SchwenningenRazni strojevi opće i posebne namjeneNémetországVillingen-SchwenningenKülönféle általános és különleges célú gépekGermaniaVillingen-SchwenningenMacchinari vari per usi generali e specificiVokietija, VFRVillingen-SchwenningenĮvairios bendrosios ir specialiosios paskirties mašinosVācijaVillingen-SchwenningenDažāda, vispārēja un speciāla pielietojuma tehnikail-ĠermanjaVillingen-SchwenningenMakkinarju ġenerali u għal għan speċjali varjiDuitslandVillingen-SchwenningenDiverse machines voor algemeen en specifiek gebruikNiemcyVillingen-SchwenningenRóżne maszyny ogólnego i specjalnego przeznaczeniaAlemanhaVillingen-SchwenningenMaquinaria diversa genérica ou de finalidade específicaGermaniaVillingen-SchwenningenDiverse utilaje de uz general şi specialNemeckoVillingen-SchwenningenRôzne strojové zariadenia na všeobecné a osobitné účelyNemčijaVillingen-SchwenningenRazni stroji za splošne in posebne nameneTysklandVillingen-SchwenningenDiverse allmänna maskiner och specialmaskinerHahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
Wilhelm-Schickad-Straße 10
Villingen-Schwenningen78052Zentrale DiensteSandy Rockstroh+49 7721943336sandy.rockstroh@hahn-schickard.de+49 7721943140www.Hahn-Schickard.dewww.Hahn-Schickard.dewww.Hahn-Schickard.degemeinnützige außeruniversitäre ForschungseinrichtungForschung und Entwicklung

PECVD-Anlage.

78052 Villingen-Schwenningen.

Hahn-Schickard beschaffte eine Parallelplattenreaktor-PECVD-Anlage für das Beschichten von hauptsächlich 100 mm- und 150 mm-Wafern als Ersatz bzw. technologische Erweiterung vorhandener Gerätschaften. Die Anlage ermöglicht das Beschichten mit unterscheidlichen PECVD-Schichten wie SiO2 und Si3N4 und ist für einen 3-Schichtbetrieb in einem Reinraum der Klasse 10 (ISO 4) ausgelegt.

1Angebotspreis502Erfüllung der technischen Spezifikationen502017/S 051-094828140320171505201710Oxford Instruments GmbH
Borsigstraße 15a
Wiesbaden65035

Nach erfolgloser Rüge beim Auftraggeber hat der Bieter innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung über die Nichtabhilfe der Rüge gem. §107 GWB das Antragsrecht auf Einlegung eines Nachprüfungsverfahrens bei der Vergabekammer Baden-Württemberg.

31052017