1. Buyer
1.1.
Buyer
Official name: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Legal type of the buyer: Public undertaking, controlled by a local authority
Activity of the contracting authority: Economic affairs
2. Procedure
2.1.
Procedure
Title: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
Description: Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.
Procedure identifier: bf32a7ff-8029-4b15-abe6-ff3d7c05c0d0
Internal identifier: 2026/1301
Type of procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
The procedure is accelerated: no
2.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 42990000 Miscellaneous special-purpose machinery
2.1.2.
Place of performance
Town: Stuttgart
Country subdivision (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Country: Germany
2.1.4.
General information
Additional information: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZMS7W# (1) Es wird darauf hingewiesen, dass das am 1.7.2013 in Kraft getretene Tariftreue- und Mindestlohngesetz für öffentliche Aufträge in Baden-Württemberg (LTMG) sowie das Gesetz zur Regelung eines allgemeinen Mindestlohns (Mindestlohngesetz) Anwendung finden. Die sich hieraus ergebenden Verpflichtungen, insbesondere auch bei dem Einsatz von Nach- und Verleihunternehmen, sind daher zu beachten; (2) Die Teilnahmeformulare sind unter der für den Abruf der Unterlagen angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen Teilnahmeunterlagen sind wesentliche Teile der ausgeschriebenen Leistung sowie der Verfahrensvorgaben bereits dargestellt. Unter dieser Internetadresse werden auch Antworten auf Bewerberfragen sowie aktualisierte oder weitere Informationen und Unterlagen zu dem Verfahren zur Verfügung gestellt. Interessenten an dem Verfahren müssen sicherstellen, dass sie regelmäßig und insbesondere unmittelbar vor Abgabe ihres Teilnahmeantrags sowie vor Ablauf der Teilnahmefrist prüfen, ob seitens der Vergabestelle zusätzliche Informationen oder Unterlagen zur Verfügung gestellt wurden, welche für die Abgabe des Teilnahmeantrags zu beachten sind.
Legal basis:
Directive 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Grounds for exclusion
Sources of grounds for exclusion: Procurement Document
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Title: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
Description: Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.
Internal identifier: 2026/1301
5.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 42990000 Miscellaneous special-purpose machinery
5.1.2.
Place of performance
Town: Stuttgart
Country subdivision (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Country: Germany
5.1.3.
Estimated duration
Duration: 24 Months
5.1.6.
General information
Reserved participation:
Participation is not reserved.
Procurement Project not financed with EU Funds.
The procurement is covered by the Government Procurement Agreement (GPA): yes
This procurement is also suitable for small and medium-sized enterprises (SMEs): no
5.1.7.
Strategic procurement
Aim of strategic procurement: No strategic procurement
5.1.9.
Selection criteria
Sources of selection criteria: Notice
Criterion: Enrolment in a trade register
Description of selection criterion: 1) Vorbemerkung (a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt wird, sind daher alle Eignungsnachweise von jedem Mitglied einer Bewerbergemeinschaft vorzulegen. Ein Bewerber kann sich zum Nachweis seiner Eignung auf andere Unternehmen stützen, ungeachtet des rechtlichen Charakters der zwischen ihm und diesem Unternehmen bestehenden Verbindungen (Eignungsleihe). Diese Möglichkeit besteht unabhängig von der Rechtsnatur der zwischen dem Bewerber und den anderen Unternehmen bestehenden Verbindungen. In diesem Fall ist der Vergabestelle nachzuweisen, dass dem Bewerber die erforderlichen Mittel tatsächlich zur Verfügung stehen werden, indem beispielsweise eine entsprechende Verpflichtungserklärung dieses Unternehmens vorlegt wird. Die Unternehmen, auf die sich ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung stützt, müssen die Eignung nach Ziffer III.1.1) bis III.1.3) hinsichtlich derjenigen Eignungskriterien erfüllen, zu deren Nachweis sich der Bewerber auf die Eignung des Unternehmens stützt. Zudem sind für dieses Unternehmen die Erklärungen über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 123, 124 GWB vorzulegen. (b) Der Teilnahmeantrag ist in deutscher Sprache einzureichen. Zertifikate und Urkunden, die zum Nachweis der Eignung einzureichen sind, dürfen hiervon abweichend auch in englischer Sprache eingereicht werden. (c) Vorstehende Ausführungen gelten für die Nachweise nach III.1.2) und III.1.3) entsprechend. 2) Vorzulegende Nachweise, Erklärungen und Dokumente: Mit dem Teilnahmeantrag sind folgende Unterlagen in Bezug auf Ausschlussgründe einzureichen: (a) Eigenerklärung, dass die Ausschlussgründe des § 123 GWB nicht vorliegen; (b) Eigenerklärung über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 124 GWB; (c) Eigenerklärung gemäß § 19 Abs. 3 Mindestlohngesetz (MiLoG); (d) Eigenerklärung nach Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014.
Criterion: Professional risk indemnity insurance
Description of selection criterion: (1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren Leistungen; (2) Eigenerklärung über das Bestehen einer Produkthaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. EUR 3 Mio. für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens EUR 5 Mio. für Sachschäden oder Eigenerklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen. (3) Eigenerklärung über das Bestehen einer Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. EUR 3 Mio. für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens EUR 5 Mio. für Sach- und Vermögensschäden oder Eigenerklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen.
Criterion: References on specified deliveries
Description of selection criterion: (1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren; (2) Eigenerklärung über das Erbringen vergleichbarer Leistungen in den vergangenen fünf Jahren (seit 1.6.2021). Mindestreferenzen: Lieferung und Installation von fünf vergleichbaren Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150 mm und 200 mm Wafern mit wechselnden Fotolacken für die i-Line- und E-Beam-Lithografie in den vergangenen 5 Jahren in den GPA-Staaten.
Information about the second stage of a two-stage procedure:
Minimum number of candidates to be invited for the second stage of the procedure: 3
The procedure will take place in successive stages. At each stage, some participants may be eliminated
5.1.11.
Procurement documents
Languages in which the procurement documents are officially available: German
Ad hoc communication channel:
5.1.12.
Terms of procurement
Terms of submission:
Electronic submission: Required
Languages in which tenders or requests to participate may be submitted: German
Electronic catalogue: Not allowed
Variants: Not allowed
Tenderers may submit more than one tender: Not allowed
Deadline for receipt of requests to participate: 30/06/2026 12:00:00 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Information that can be supplemented after the submission deadline:
At the discretion of the buyer, all missing tenderer-related documents may be submitted later.
Additional information: Die Vergabestelle behält sich vor, von den Bewerbern die Nachreichung, Vervollständigung und/oder Korrektur von Unterlagen im Rahmen des vergaberechtlich Zulässigen zu verlangen. Werden Unterlagen nicht fristgemäß nachgereicht, vervollständigt oder korrigiert, wird der Teilnahmeantrag ausgeschlossen. Ein Anspruch auf Nachforderung besteht nicht.
Terms of contract:
The execution of the contract must be performed within the framework of sheltered employment programmes: No
Conditions relating to the performance of the contract: Für Bewerbergemeinschaften gilt: Es gibt keine Vorgabe hinsichtlich der Rechtsform. Erforderlich ist die Einreichung einer von allen Mitgliedern der Bewerbergemeinschaft unterzeichneten Erklärung folgenden Inhalts: (1) plausible Darstellung der Aufgabenteilung innerhalb der Bewerbergemeinschaft, (2) Benennung des bevollmächtigten Vertreters der Bewerbergemeinschaft, (3) Erklärung, dass dieser Vertreter die Mitglieder der Bewerbergemeinschaft während des gesamten Verfahrens rechtsverbindlich vertritt, (4) Erklärung, dass der bevollmächtigte Vertreter berechtigt ist, mit uneingeschränkter Wirkung für jedes Mitglied Zahlungen anzunehmen, (5) Erklärung, dass alle Mitglieder der Bewerbergemeinschaft im Vergabeverfahren sowie im Auftragsfall gesamtschuldnerisch haften.
Electronic invoicing: Allowed
Electronic ordering will be used: no
Electronic payment will be used: no
5.1.15.
Techniques
Framework agreement:
No framework agreement
Information about the dynamic purchasing system:
No dynamic purchase system
5.1.16.
Further information, mediation and review
Review organisation: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Information about review deadlines: Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Organisation providing additional information about the procurement procedure: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Organisation receiving requests to participate: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Official name: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Registration number: DE147794161
Postal address: Allmandring 30a
Town: Stuttgart
Postcode: 70569
Country subdivision (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Country: Germany
Telephone: 071186040681
Roles of this organisation:
Buyer
Organisation providing additional information about the procurement procedure
Organisation receiving requests to participate
8.1.
ORG-0002
Official name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Registration number: 08-A9866-40
Postal address: Durlacher Allee 100
Town: Karlsruhe
Postcode: 76137
Country subdivision (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Country: Germany
Telephone: +49 721926-8730
Fax: +49 721926-3985
Roles of this organisation:
Review organisation
8.1.
ORG-0003
Official name: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registration number: 0204:994-DOEVD-83
Town: Bonn
Postcode: 53119
Country subdivision (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Country: Germany
Telephone: +49228996100
Roles of this organisation:
TED eSender
Notice identifier/version: da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb - 01
Form type: Competition
Notice type: Contract or concession notice – standard regime
Notice subtype: 16
Notice dispatch date: 27/05/2026 15:14:40 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Languages in which this notice is officially available: German
Notice publication number: 367674-2026
OJ S issue number: 102/2026
Publication date: 29/05/2026