1. Buyer
1.1.
Buyer
Official name: CEA/GRENOBLE
Legal type of the buyer: Body governed by public law
Activity of the contracting authority: Education
2. Procedure
2.1.
Procedure
Title: Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm
Description: Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Procedure identifier: 32320e72-5400-483e-8287-cc015b17389f
Internal identifier: PN-B26-00364-ST
Type of procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
The procedure is accelerated: no
2.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 31700000 Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies
2.1.2.
Place of performance
Town: Grenoble
Country subdivision (NUTS): Isère (FRK24)
Country: France
Additional information: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.3.
Value
Estimated value excluding VAT: 1,00 EUR
2.1.4.
General information
Additional information: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B26-00364-ST Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Legal basis:
Directive 2014/24/EU
2.1.6.
Grounds for exclusion
Sources of grounds for exclusion: Procurement Document
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Title: Fourniture d’un équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
Description: Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
5.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 31712100 Microelectronic machinery and apparatus
5.1.2.
Place of performance
Town: Grenoble
Postcode: 38000
Country subdivision (NUTS): Isère (FRK24)
Country: France
Additional information: CEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Estimated duration
Duration: 12 Months
5.1.6.
General information
Reserved participation:
Participation is not reserved.
Procurement Project not financed with EU Funds.
The procurement is covered by the Government Procurement Agreement (GPA): yes
Additional information: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Selection criteria
Sources of selection criteria: Procurement Document
Information about the second stage of a two-stage procedure:
Minimum number of candidates to be invited for the second stage of the procedure: 3
The procedure will take place in successive stages. At each stage, some participants may be eliminated
The buyer reserves the right to award the contract on the basis of the initial tenders without any further negotiations
5.1.10.
Award criteria
Criterion:
Type: Price
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
5.1.11.
Procurement documents
5.1.12.
Terms of procurement
Terms of submission:
Electronic submission: Required
Languages in which tenders or requests to participate may be submitted: French, English
Electronic catalogue: Not allowed
Variants: Allowed
Deadline for receipt of requests to participate: 01/07/2026 14:00:00 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Terms of contract:
The execution of the contract must be performed within the framework of sheltered employment programmes: No
Electronic invoicing: Allowed
Electronic ordering will be used: no
Electronic payment will be used: no
5.1.15.
Techniques
Framework agreement:
No framework agreement
Information about the dynamic purchasing system:
No dynamic purchase system
5.1.16.
Further information, mediation and review
Review organisation: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Information about review deadlines: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation providing additional information about the procurement procedure: CEA/GRENOBLE
Organisation providing offline access to the procurement documents: CEA/GRENOBLE
Organisation providing more information on the review procedures: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation receiving requests to participate: CEA/GRENOBLE
Organisation processing tenders: CEA/GRENOBLE
8. Organisations
8.1.
ORG-0003
Official name: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Registration number: 17800053
Postal address: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Town: GRENOBLE CEDEX
Postcode: 38022
Country subdivision (NUTS): Isère (FRK24)
Country: France
Telephone: 04 76 42 90 00
Roles of this organisation:
Review organisation
Organisation providing more information on the review procedures
8.1.
ORG-0004
Official name: CEA/GRENOBLE
Registration number: 775 685 019 00298
Postal address: 17 avenue des Martyrs
Town: Grenoble
Postcode: 38054
Country subdivision (NUTS): Isère (FRK24)
Country: France
Contact point: Syrga TURGANALIEVA
Telephone: 0438783071
Roles of this organisation:
Buyer
Organisation providing additional information about the procurement procedure
Organisation providing offline access to the procurement documents
Organisation receiving requests to participate
Organisation processing tenders
8.1.
ORG-0000
Official name: Publications Office of the European Union
Registration number: PUBL
Town: Luxembourg
Postcode: 2417
Country subdivision (NUTS): Luxembourg (LU000)
Country: Luxembourg
Telephone: +352 29291
Roles of this organisation:
TED eSender
Notice identifier/version: 5063a257-2fae-4472-94bf-bfa458bc9540 - 01
Form type: Competition
Notice type: Contract or concession notice – standard regime
Notice subtype: 16
Notice dispatch date: 28/05/2026 08:30:00 (UTC+00:00) Western European Time, GMT
Languages in which this notice is officially available: French
Notice publication number: 368559-2026
OJ S issue number: 102/2026
Publication date: 29/05/2026