22a26e70-1067-4fad-b072-a791fe675075-01 Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr PROCEDURE update-add Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr 16 ORG-0001 Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. Jena 07745 DEG03 DEU DE151282932 03641206556 saskia.bach@leibniz-ipht.de ORG-0002 Vergabekammer Thüringen Weimar 99423 DEG05 DEU Land Thüringen 0361573321059 vergabekammer@tlvwa.thueringen.de ORG-0003Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Bonn53119DEA22DEU0204:994-DOEVD-83+49228996100noreply.esender_hub@bescha.bund.de 00551042-2026152/20262026-08-10+02:00 2.3 eforms-sdk-1.13 eforms-sdk-1.13 11190d9e-cf9a-419d-abd9-2a968ad46363 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c 2026-08-07+02:00 10:26:03+02:00 01 2026-08-07+02:00 32014L0024 cn-standard DEU org-sub education ORG-0001 ted-esenORG-0003 false false eu-funds true Bankbürgschaft für Anzahlungen vgv DEU SomeTenderDocID1 non-restricted-document exg-natl-bre-nat-law exg-crim-part exg-crim-terror exg-crim-laund exg-crim-fraud exg-crim-corrpt exg-crim-traffick exg-pmt-bre-tax exg-pmt-bre-ssc exg-mis-bre-env-law exg-mis-bre-soc-law exg-mis-bre-lab-law exg-sitn-insolvency exg-sitn-liq-admin exg-sitn-as-susp exg-sitn-other exg-mis-misconduct exg-mis-distortion exg-mis-partic-confl exg-mis-prep-confl exg-mis-sanction exg-mis-misrepresent epo-notice ORG-0001 ORG-0002 ORG-0002 DEU open https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ false false 01.26.O.00 ALD-Anlage Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern. supplies #Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRM3BQ# 461344.00 38000000 Jena 07745 DEG03 DEU LOT-0001 slc-stand-to-avg s. Eigenerklärung slc-abil-ref-supply Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen. false false not-allowed eu-funds not-allowed true Bankbürgschaft für Anzahlungen DEU SomeTenderDocID1 non-restricted-document https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ/documents false late-some s.o. none epo-notice no not-allowed required performance - Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG false per-exa 70.0 quality technische Spezifikationen technische Spezifikationen per-exa 30.0 price Preis Preis ORG-0001 https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ ORG-0001 40 ORG-0002 ORG-0002 DEU false false false required true https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ 2026-08-25+02:00 13:00:00+02:00 2026-08-14+02:00 23:59:59+02:00 2026-08-25+02:00 13:10:00+02:00 false none none 01.26.O.00 ALD-Anlage Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern. supplies Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung. false none 38000000 Jena 07745 DEG03 DEU 2026-08-28+02:00 2027-09-05+02:00