16https://www.auftraege.bayern.de/ORG-0001Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergKonrad-Zuse-Straße 3-5Lehrstuhl für Angewandte QuantentechnologienErlangen91052DE252DEUa215d5ee-7b2b-4ffd-8397-e7bbc0200c3eLehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien+49 91318571177AQUT-info@fau.dehttps://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.htmlORG-0002Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer NordbayernPromenade 27Ansbach91522DE251DEUc0f12e87-76f1-4468-90ef-036d199560d7+49 981531277+49 981531837vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.dehttps://www.auftraege.bayern.de/ORG-0003Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergKonrad-Zuse-Straße 3-5Lehrstuhl für Angewandte QuantentechnologienErlangen91052DE252DEU6c9f0901-f60f-4b97-98f8-aaf1c1ca56cbLehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien+49 91318571177AQUT-info@fau.deORG-0004Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Bonn53119DEA22DEU0204:994-DOEVD-83+49228996100noreply.esender_hub@bescha.bund.de00590353-2026165/20262026-08-27+02:002.3eforms-sdk-1.136e7f5a8d-ac5f-424b-9b6c-a3d56334716f2b51b532-b52a-4117-aa1f-2fbb2be528032026-08-26+02:0014:25:14+02:00012026-08-26+02:0032014L0024cn-standardDEUbody-pl-raeducationORG-0001ted-esenORG-0004vgvepo-noticeexg-natl-bre-nat-lawGemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/AopentrueAufgrund der mit der ausgeschriebenen Leistung verbundenen zu erwartenden langen Lieferzeit und der Vorgabe des Drittmittelgebers zur befristeten Verfügbarkeit der bewilligten Mittel ergibt sich die Notwendigkeit, die Vergabe schnellstmöglich durchzuführen, da ansonsten die bewilligten Drittmittel nicht mehr im vollen Umfang zur Verfügung stehen werden.2026000322Reaktives IonenätzenFür die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.supplies3172000022520000Erlangen91052DE252DEULOT-0001slc-abil-ref-supplyhttps://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/suitabilitycriteriaslc-abil-facil-resApplikationsreinraumslc-abil-mgmt-envUmweltzertifizierungfalsenot-allowedno-eu-fundsnot-allowedDEU7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9non-restricted-documenthttps://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9late-allGemäß § 56 Abs. 2 VgV, § 51 Abs. 2 SektVO, § 16a Abs. 1 VOB/A-EU. Mögliche Hinweise des Auftraggebers in den Vergabeunterlagen sind zu beachten.epo-noticenonenoperformancerequirednot-allowedfalseper-exa60pricePreisPreisper-exa40qualityLeistungsbewertung gemäß Kriterienkataloghttps://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteriaORG-0003https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa931ORG-0002ORG-0002DEUtruetruerequiredtrue2026-09-11+02:0023:59:00+02:002026-09-04+02:0010:00:00+02:00falsenonenone84acda79-6802-4c30-a1f5-9c6ee81cb304Reaktives IonenätzenFür die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.suppliesfalsenone3172000022520000Erlangen91052DE252DEU2026-10-13+02:002027-06-21+02:00